マイクロスケールの紫外線センサー及びその製造方法

開放特許情報番号
L2012000627
開放特許情報登録日
2012/3/9
最新更新日
2015/10/9

基本情報

出願番号 特願2009-279520
出願日 2009/12/9
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2011-122882
公開日 2011/6/23
登録番号 特許第5414050号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 マイクロスケールの紫外線センサー及びその製造方法
技術分野 情報・通信、電気・電子、その他
機能 検査・検出、機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 紫外線センサー
目的 この発明は、日焼けや皮膚がんを起こしやすい紫外線を、感度よく、安定に検知できる紫外線センサーを、低コストで提供する。
効果 この発明の紫外線センサーは、紫外線を照射したとき(オン)、しないとき(オフ)の光電流値は非常に安定している。そのため、日焼けや皮膚がんを起こしやすい紫外線を感度よく、安定に検知できる。
技術概要
紫外線が皮膚に当たると日焼けや皮膚がんを引き起こしやすい、そのため、紫外線を検知する材料や検知器の開発が強く要求されている。そのセンサーとして、近年、酸化亜鉛(ZnS)、硫化亜鉛(ZnO)、ダイヤモンド等のバンドギャップの大きな半導体からつくられるナノ構造体が、空間及びサイズ関与の機能特性を調節する適切な材料として、注目されている。しかし、そのようなナノ構造体を薄膜様のマイクロチップ中に集積することは工業化の点で重要な課題である。この発明の紫外線センサーは、(1)無機酸化物基板の表面を金属層で覆う工程、(2)金属層で覆われた無機酸化物基板の表面に、化学的蒸気堆積法によって単結晶ZnSナノベルトを多数成長させる工程、(3)成長した単結晶ZnSナノベルトの上に、電極間の距離がμmオーダーである2つの分離された電極を形成させる工程、から構成されている。無機酸化物基板として石英ガラス基板が、その表面を覆う層として金薄膜が好ましく、また、基板上に電極パターンを作製する際に、μmオーダー径のマイクロワイヤからなるメッシュをマスクに用いた化学的蒸気堆積法を行えばよい。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT