硫化亜鉛ナノベルト、紫外線検知センサー及びこれらの製造法

開放特許情報番号
L2012000626
開放特許情報登録日
2012/3/9
最新更新日
2015/10/9

基本情報

出願番号 特願2009-274154
出願日 2009/12/2
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2011-012244
公開日 2011/1/20
登録番号 特許第5500543号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 硫化亜鉛ナノベルト、紫外線検知センサー及びこれらの製造法
技術分野 無機材料、電気・電子、生活・文化
機能 検査・検出、安全・福祉対策
適用製品 硫化亜鉛ナノベルト、紫外線検知センサー、硫化亜鉛ナノベルトの製造法、紫外線検知センサーの製造法
目的 紫外線が皮膚に当たると日焼けや皮膚がんを引き起こしやすく、その危険度を把握するためには、紫外線の量を計測することが重要であり、紫外線を検知する材料や検知器の開発が強く要求され、酸化亜鉛ナノロッド/ポリフルオレンを用いたハイブリッドフォトダイオードなどが検討されているが、更に高い感度の紫外線量検出器の提供が期待されている。そこで、日焼けや皮膚がんを起こしやすい紫外線を、感度よく検知する材料及びこれを用いた紫外線検知器を提供する。
効果 この硫化亜鉛ナノベルトは、陰極線ルミネッセンスによる発光ピークが紫外域に(337nm付近に)特徴的に存在し、可視域の発光ピークは紫外域に存在する発光ピークに比べ低い。また、この紫外線検知センサーは、陰極線ルミネッセンスによる発光ピークが紫外域の337nm付近に特徴的に存在し、可視域の発光ピークは紫外域の発光ピークに比べ低い「ベルト状に単結晶化した硫化亜鉛ナノベルト」を光電変換部材として用いているので、可視光に鈍感で、紫外光にのみ反応し、これを感度よく検知できる。
技術概要
陰極線ルミネッセンスによる発光ピークが紫外域、特に337nm付近に特徴的に存在する、ベルト状に単結晶化した硫化亜鉛ナノベルトが提供される。この硫化亜鉛ナノベルトの製造法は、次のステップを含む;(1)加熱炉にセットした筒状加熱管の中央部に硫化亜鉛粉末を置き、その下流側に金薄膜付きシリコン基板を置く、(2)この筒状加熱管中の酸素が除去されるまで、その筒状加熱管中へ、不活性ガスを導入する、(3)不活性ガスを所定の流速で導入しながら、加熱炉を17±5℃/minの昇温速度で室温から1000〜1200℃まで昇温させたのち、その温度で一定時間保つ、(4)放冷後、金薄膜付きシリコン基板上に堆積した堆積物を回収する。さらに、紫外光を受けて、その光の強さに応じた強さの電気を発生する光電変換部材を有する紫外線検知センサーであって、その光電変換部材として硫化亜鉛ナノベルトが用いられている紫外線検知センサーが提供される。図は、aは、各波長の光を照射したときに流れた電流を測定し規格化した図で、bは、320nmの波長の光をオン、オフさせたときの光電流を測定した結果を示す。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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