| 出願番号 |
特願2009-167739 |
| 出願日 |
2009/7/16 |
| 出願人 |
独立行政法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
特開2011-021249 |
| 公開日 |
2011/2/3 |
| 発明の名称 |
陽極酸化用治具とナノ加工方法 |
| 技術分野 |
機械・加工、電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
陽極酸化用治具、板表面に均一な凹凸を形成するナノ加工方法 |
| 目的 |
陽極酸化により基板表面に均一な凹凸を形成するナノ加工方法においては、孔の間隔や大きさについては大きなばらつきが生じないが、その深さにばらつきが生じ、底部を残したり、基材を溶かしたりする不均質な状態となり、理想的なナノサイズの凹部を形成することは極めて困難であった。そこで、陽極酸化による不均一性をカバーして、基板表面に予定していた均一な凹凸を形成するナノ加工方法を提供する。 |
| 効果 |
この方法により、従来では陽極酸化による不均一性によって生じていた、基板表面の孔の欠損や過大な孔の存在をなくすことができた。さらに、この治具を用いることで、陽極酸化される被酸化膜全体に与える電気の均一性を高めることができるので、それにより形成される孔の均質性を高め、基板表面に形成したナノ径の孔の直径を、均一にすることができた。 |
技術概要
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このナノ加工方法は、基板表面に形成されたマスク材よりなるマスク皮膜を陽極酸化して、所定の間隔の孔を形成し、次にマスクを破壊せず、基板を侵食するエッチング処理により基板表面に孔と同じ間隔の凹部を基材表面に形成するナノ加工方法であって、陽極酸化により、少なくとも底部の一部を残した孔を形成し、次にマスク皮膜を溶解する液中に浸漬して孔の底部を溶解除去して、底部のない貫通孔とし、その後にエッチング処理することからなる。この陽極酸化用治具は、被酸化膜を表面に有する基板を陽極酸化液中に配置するのに用いる陽極酸化用治具であって、基板を表裏両面から挟む第一、第二電気絶縁板と、基板表面の被酸化膜に接触する陽極酸化用電極とからなり、基板表面に位置する第一電気絶縁板には、基板表面の所定箇所を陽極酸化液に暴露する窓部が形成され、窓部による暴露部分の周囲において電極が基板表面に電気的に接触されている。図は、陽極酸化用治具を示す分解斜視図である（（１） 第一電気絶縁板（２） 陽極酸化用電極（３） 基板（全体）（４） 第二電気絶縁板（５） 窓部（６） 電極の窓部（７）（８） 締めつけ具）。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)