| 出願番号 |
特願2010-137847 |
| 出願日 |
2010/6/17 |
| 出願人 |
独立行政法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
特開2011-033615 |
| 公開日 |
2011/2/17 |
| 発明の名称 |
水素ガス検知センサー装置及び水素ガス検知方法 |
| 技術分野 |
電気・電子、情報・通信、化学・薬品 |
| 機能 |
制御・ソフトウェア、検査・検出 |
| 適用製品 |
低濃度のガスの検出するセンサーデバイス産業等 |
| 目的 |
この発明は、低濃度の水素ガス検知が行える水素ガス検知センサー装置及び水素ガス検知方法の提供を目的とする。 |
| 効果 |
測定周波数を１ＫＨｚ未満に低下させると、水素ガス雰囲気中でデバイスのキャパシタンス（静電容量）の絶対値およびそれらの値の変化が著しく増加することを見出した。 この静電容量の変化を利用することにより、従来は不可能とされるような低濃度の水素ガス検知が可能となる。 閾値電圧変化が同じでも、周波数の低下に連れ静電容量の変化が拡大されることを確認したため、これにより低周波数での測定により、低濃度のガス測定が可能であることを実証している。 |
技術概要
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ガス量を測定する水素ガス検知は、ガスセンサー素子と、ガスセンサー素子に接続されたインピーダンス測定装置と、を有する水素ガス検知センサー装置を用いる。 この検知方法は、真空容器の内部にガスセンサー素子を配置し、真空容器の内部を減圧してから、水素ガスを含み２種以上のガスからなる混合ガスを流通させる工程と、真空容器の外部に配置したインピーダンス測定装置により、ガスセンサー素子に１ＫＨｚ未満の交流周波数の交流を印加して、ガスセンサー素子の静電容量測定を行い、水素ガスを検出する工程と、を有する。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
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