| 出願番号 |
特願2010-113904 |
| 出願日 |
2010/5/18 |
| 出願人 |
独立行政法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
特開2011-014531 |
| 公開日 |
2011/1/20 |
| 登録番号 |
特許第5586013号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 発明の名称 |
耐熱電子放出源 |
| 技術分野 |
無機材料、電気・電子、その他 |
| 機能 |
材料・素材の製造、機械・部品の製造、その他 |
| 適用製品 |
透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、電子線描画装置等 |
| 目的 |
この発明は、希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバを耐熱性支持針に接合した構成の熱陰極電子放出源を提供する。 |
| 効果 |
この発明により、熱陰極電子放出源の使用時における高温化でも希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバと支持針との接合面における反応等による損傷・劣化を防止し、これにより、長寿命かつ高性能の熱陰極電子放出源を提供することができる。 |
技術概要
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仕事関数が低く、高融点で高硬度で、透過型電子顕微鏡などの電子放出源として極めて優れている希土類六ホウ化物は、マイクロメータオーダーのコーン型の単結晶バルクや粉状にして、フィラメントや耐熱金属針に被覆され電子放出源として用いられてきた。単結晶バルクとして用いられる場合は、電子放出源自身が致命的な損傷を受けることはない。また、粉状にして用いる場合は、希土類六ホウ化物が粉末被覆層から電子放出源先端に拡散して、常に補給されるので、この粉末電子源の劣化・損傷は問題にならない。しかし、希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバと耐熱金属支持針との界面における高温化学反応による損傷・劣化は、損傷が微小であっても、ナノファイバ自体が微小であるため、致命的となり得ることが分かってきた。この発明は、耐熱性支持針に希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバを接合するもので、少なくとも支持針のナノファイバとの接合箇所が希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバに対して高温でも化学反応しない耐熱材料よりなる熱陰極電子放出源が与えられる。支持針としては、レニウム、オスニウム、白金又はイリジウムなどが使用されている。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
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| 特許権実施許諾 |
【可】
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