適用製品
透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、電子線描画装置など
目的
この発明は、冷陰極電界放出型電子源への希土類六ホウ化物の適用を実現し、輝度や電子源の寿命が向上し、エネルギーの広がりも抑制できる電子源を提供する。
効果
この発明は、仕事関数が低い希土類六ホウ化物を電子放出が容易な単結晶ナノファイバとし、電子源に用い、さらに、希土類六ホウ化物の種類を特定した。これを用いた冷陰極電界放出型電子源は従来の電子源と比べて、電子源の電流―電圧特性が桁違いに優れ、電子放出による電流の変動がほとんどなく極めて安定であり、長時間使用による影響が少ない優れた冷陰極電界放出型電子源とすることができる。
技術概要
透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、電子線描画装置等に用いられる電子を放出するための電子銃に組み込まれる電子源の熱陰極電子源としては電子源材料として、タングステン、希土類六ホウ化物等が用いられ、冷陰極電界放出型電子源にはタングステンが用いられている。これまでにタングステンや希土類六ホウ化物以外の電子源材料として、先鋭化させた針状電極にアルミニウムやハフニウムなどを単原子層吸着させたものが提案されている。しかしながら、これらの電子源材料は仕事関数が希土類六ホウ化物より高く、電子源特性が不安定であり、耐久性も問題があり実用化されていない。この発明の冷陰極電界放出型電子源は、希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバが電子源支持針の表面に取り付けたものである。希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバは、六ホウ化ランタン、六ホウ化セリウム及び六ホウ化ガドリウムの少なくともいずれかの単結晶ナノファイバで、気相成長法により直径１０〜３００ｎｍの形状に作成されたものである。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
