光陰極高周波電子銃、および光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置

開放特許情報番号
L2012000497
開放特許情報登録日
2012/3/2
最新更新日
2014/7/31

基本情報

出願番号 特願2010-140546
出願日 2010/6/21
出願人 学校法人早稲田大学
公開番号 特開2012-004069
公開日 2012/1/5
登録番号 特許第5544598号
特許権者 学校法人早稲田大学
発明の名称 光陰極高周波電子銃、および光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 光陰極高周波電子銃、および光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置
目的 電子ビームの時間幅を容易に変更することができる電子銃、および、電子銃を備えた電子線装置を提供する。
効果 この電子銃では、最終アイリスの厚さを変更することにより、電子ビームの時間幅を容易に変更することができる。
技術概要
図1は、電子銃の加速空胴本体の構成を模式的に示す断面図である。カソード部3と、カソード部3にレーザー光8を照射するレーザー照射口4と、カソード部3から放出された電子9を加速する加速空胴部5と、加速空胴部5の内部に高周波を導入する高周波導入部15とを備える光陰極高周波電子銃1において、加速空胴部5は、二以上の基本セル10と、基本セル10同士の間に設けられる基本アイリス12と、基本セル10の出口に最終アイリス13を挟んで連通された最終セル11とを有し、最終アイリス13の厚さは、第2アイリス12の厚さと異なる。図2は、電子銃を備えた透過型電子顕微鏡の構成を示す模式図である。透過型電子顕微鏡30は、電子銃1から照射される電子ビーム9Aに沿って、照射レンズ31、試料ステージ32、対物レンズ33、拡大レンズ系34が配置されている。電子銃1より放出された電子ビーム9Aは、照射レンズ31によって、試料ステージ32に保持されている試料35に照射されるようになっている。そして、試料35を透過した電子ビーム9Aは、対物レンズ33と拡大レンズ系34により拡大され、CCDカメラ等の撮像装置36に投影される。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 本件は、『早稲田大学技術シーズ集(問合NO.1077)』に掲載されている案件です。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT