形状測定方法及び装置並びに歪み測定方法及び装置

開放特許情報番号
L2012000457
開放特許情報登録日
2012/2/24
最新更新日
2015/7/28

基本情報

出願番号 特願2010-095569
出願日 2010/4/18
出願人 国立大学法人宇都宮大学
公開番号 特開2011-226871
公開日 2011/11/10
登録番号 特許第5743419号
特許権者 国立大学法人宇都宮大学
発明の名称 形状測定方法及び装置並びに歪み測定方法及び装置
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 形状測定装置
目的 従来、光学素子のレンズ面、反射面、透過面等の形状を測定するために、被測定面と参照面とに光束を照射して、それぞれを反射又は透過した光による干渉縞画像を取得し、干渉縞画像を解析して被測定面の面形状を計測する干渉計が種々知られている。 この発明は、高精度且つ高感度の形状測定を実現できる形状測定方法及び装置並びに歪み測定方法及び装置の提供を目的とする。
効果 感光剤の現像プロセスや、再生光学系とそのハンドリング等の煩雑な手順を必要としないで、形状や歪測定における感度を向上させることができる。
技術概要
光源部11からの光22を格子板12に照射し、格子板12を透過した光23を被測定物14上に格子像として投影し、その格子像を撮影して格子像の歪みから被測定物14の3次元形状を計算して数値化する。三次元形状の数値化は、格子像の画像データ取り込みステップ、取り込んだ画像データの二次元フーリエ変換ステップ、n次のピーク信号取り出しステップ、位相分布を含む信号の逆フーリエ変換ステップ、及び三次元形状数値化ステップをその順で含む。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 宇都宮大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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