表面形状測定装置

開放特許情報番号
L2012000456
開放特許情報登録日
2012/2/24
最新更新日
2014/9/26

基本情報

出願番号 特願2010-093669
出願日 2010/4/15
出願人 国立大学法人宇都宮大学
公開番号 特開2011-226785
公開日 2011/11/10
登録番号 特許第5569963号
特許権者 国立大学法人宇都宮大学
発明の名称 表面形状測定装置
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 表面形状測定装置
目的 被測定体面からの反射光と参照光とを干渉させて、得られる干渉光強度の変化から被測定体の表面形状を特定する表面形状測定装置に関し、可干渉距離を超える奥行きを持つ被測定体の表面形状を迅速に測定できる装置の提供を目的とする。
効果 第1生成部から第N生成部にかけての光路長の差の総和が、可干渉距離ΔZの2倍以上に設定されているので、第1生成部から第N生成部に順に第2分割光を照射して反射される参照光を得ることで、第1生成部から第N生成部を移動させることなく、可干渉距離ΔZを超える奥行きを持つ被測定体の表面形状を迅速に測定できる。
技術概要
光源は検査光を出力し、光分割部は、光源から出力される検査光を、被測定体の表面の測定位置に照射される第1分割光と、参照光生成部に照射される第2分割光とに分割する。 干渉光生成部は、被測定体の表面で第1分割光が反射して得られる物体光と、参照光生成部で第2分割光が反射して得られる参照光とを干渉させて干渉光を生成する。 検出部は、干渉光生成部によって生成された干渉光の強度を検出する。 参照光生成部は、各々の光路の末端に光反射面を有する。光分割部との間の光路長に差を設けられて配置される第1生成部ないし第N生成部(N=2以上の整数)からなる複数の参照光生成部を備え、第1生成部から第N生成部にかけての光路長の差の総和が、可干渉距離ΔZの2倍以上に設定されている。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 宇都宮大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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