出願番号 |
特願2011-251901 |
出願日 |
2011/11/17 |
出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
公開番号 |
特開2013-107782 |
公開日 |
2013/6/6 |
登録番号 |
特許第5936028号 |
特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
発明の名称 |
ウルツ鉱型結晶膜およびその製造方法 |
技術分野 |
無機材料、化学・薬品 |
機能 |
材料・素材の製造 |
適用製品 |
ウルツ鉱型結晶膜 |
目的 |
圧電体膜等に応用することができるように、高い電気抵抗率を維持しつつ極性分布割合を容易に制御可能であって、低コストで大面積の基材上に成膜されたウルツ鉱型結晶膜、およびその製造方法を提供する。 |
効果 |
優れた圧電特性、電気特性、蛍光発光特性、化学的安定性を備えた安価なウルツ鉱型結晶膜を提供することができるという効果を奏する。
大面積の薄膜を成膜することが可能であり、特別な装置を必要としないため低コストで、安価なウルツ鉱型結晶膜の製造方法を提供することができるという効果を奏する。 |
技術概要
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基材面に対して垂直方向に二つ以上の粒子が充填および堆積し、上記粒子が互いに結合してなる結合層を含む膜構造を有するウルツ鉱型結晶膜であって、上記粒子は、アルカリ金属元素およびアルカリ土類金属元素からなる元素群のうちの少なくとも一つの元素がドープされているウルツ鉱型結晶構造を有する化合物を含んでいる。ウルツ鉱型結晶膜の製造方法は、ウルツ鉱型結晶を構成する元素種およびドープする金属種を含有する化学溶液を基材上に塗布する工程を含む方法である。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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