気体中微粒子検出装置

開放特許情報番号
L2012000370
開放特許情報登録日
2012/2/17
最新更新日
2015/11/2

基本情報

出願番号 特願2011-247298
出願日 2011/11/11
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2013-108752
公開日 2013/6/6
登録番号 特許第5791045号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 気体中微粒子検出装置
技術分野 情報・通信、食品・バイオ、有機材料
機能 検査・検出、機械・部品の製造
適用製品 気体中に浮遊する微粒子を検出する検査装置
目的 気体中に存在する微粒子を迅速に検出でき、また、その微粒子の粒径を幅広いレンジで正確に測定できる装置を提供する。
効果 従来技術における前記諸問題を解決することができ、ディスク表面で微粒子を捕捉し、瞬時にその捕捉粒子の粒径を正確に測定することができ、なお且つその測定検出感度は、数十nm程度の微粒子まで検出可能である気体中微粒子検出装置を提供することができる。
技術概要
検査対象となる気体中に含まれる微粒子を捕捉するディスクと、前記ディスクを回転させる回転手段と、前記ディスクに光を照射する光照射手段と、前記ディスクから反射された光を検出する検出手段と備え、前記検出手段で検出される信号の時間的長さと前記ディスクの回転速度から算出される大きさから前記光照射手段から照射される光のスポット径を差し引くことによって、前記微粒子の大きさを算出することを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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