非接触吸着装置

開放特許情報番号
L2012000159
開放特許情報登録日
2012/1/20
最新更新日
2016/10/20

基本情報

出願番号 特願2011-224069
出願日 2011/10/11
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2012-106331
公開日 2012/6/7
登録番号 特許第5995198号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 非接触吸着装置
技術分野 機械・加工、電気・電子
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造、環境・リサイクル対策
適用製品 非接触吸着装置
目的 コアンダ効果を活用し、吸着面の全周にわたり高速空気流を包囲することにより、効率的な吸着面を形成する。
効果 少容量の空気ポンプでも、中間部材の底面とワークの間に形成される空間を吸着空間とすることができる。しかも、その外周に形成される高速空気流発生領域は、半径方向に必要最小限の幅を確保すればよいから、本体における開口部底面の外周縁と本体の底面外縁までの幅を小さくすることができ、非接触吸着装置をコンパクト化でき、例えば、ロボットハンドによる微細物品の吸着にも利用することが可能になり、また、吸着時に発生する騒音を大幅に低レベルにすることができる。
技術概要
ワーク表面と一定の間隙を介して対向する底面を有するとともに、その中央部に該底面に向けて拡開する開口部が形成された本体と、この開口部の内部に配設された中間部材とを有し、中間部材の底面が、開口部の底面より上方に位置して、開口部の内周面との間で全周にわたりスリットを形成する。このスリットを介して、開口部の内周面に沿い、その底面の外周縁の全周に向けて空気を噴出させ、コアンダ効果により、該外周縁の全周から本体の底面に沿って、外周に向かう高速空気流を形成して、中間部材の底面とワークの表面との間で形成される空間を、その全周にわたり包囲して、中間部材の底面を吸着面とする。
小容量の空気圧縮ポンプでも、吸着面に強力な負圧を作用させることが可能になり、非接触吸着装置をコンパクト化、低騒音化、さらには省エネルギー化を実現できるので、半導体製造工程や液晶製造工程のみならず、ロボットハンドによる微細物品の吸着など、様々な分野に広く利用されることが期待できる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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