軽元素分析装置及び分析方法

開放特許情報番号
L2012000083
開放特許情報登録日
2012/1/13
最新更新日
2015/6/24

基本情報

出願番号 特願2010-146206
出願日 2010/6/28
出願人 独立行政法人理化学研究所
公開番号 特開2012-008082
公開日 2012/1/12
登録番号 特許第5553308号
特許権者 国立研究開発法人理化学研究所
発明の名称 軽元素分析装置及び分析方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 軽元素分析装置
目的 非破壊かつ高空間分解能で、試料の表面付近に存在する軽元素の面内分布を測定する。
効果 高空間分解能で、試料を薄膜処理することなく、試料の表面近くに存在する水素やリチウムといった軽元素を分析し、その空間分布を可視化できる。
技術概要
真空排気された真空槽内に設置された試料ホルダと、試料ホルダに保持された試料10に電圧を印加する第1の電源と、試料ホルダに保持された試料にパルスイオンビーム13を照射するイオンビーム源と、粒子検出器と、粒子検出器に電圧を印加する第2の電源と、試料ホルダと粒子検出器の間で、試料ホルダの近くに配置され、接地された第1のグリッドと、試料ホルダと粒子検出器の間で、粒子検出器の近くに配置され、接地された第2のグリッドと、パルスイオンビームの入射によって試料ホルダに保持された試料から放出されるイオンの飛行時間tを測定し、イオン種を同定する演算部とを備え、演算部は、イオンの質量をm、イオンの試料脱離時の運動エネルギーをE↓k、イオンの電荷をq、試料の電位をV↓s、試料と第1のグリッド間の距離をL↓1、第1のグリッドと第2のグリッド間の距離をL↓2、第2のグリッドと粒子検出器の表面間の距離をL↓3、粒子検出器の表面の電位をV↓M↓C↓Pとするとき、t=t↓1+t↓2+t↓3の関係を用いてイオン種を同定する元素分析装置である。t↓1〜t↓3を式で示す。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 実施許諾の可否・条件に関する最新の情報は、(独)理化学研究所連携推進部 知財創出・活用課までお問合せ下さい。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT