陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法

開放特許情報番号
L2011006486
開放特許情報登録日
2012/1/6
最新更新日
2017/12/27

基本情報

出願番号 特願2009-210837
出願日 2009/9/11
出願人 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー
公開番号 特開2009-287124
公開日 2009/12/10
登録番号 特許第4595043号
特許権者 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所
発明の名称 陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法
技術分野 金属材料
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 ナノメータースケールで規則的な細孔構造を有する複合体、アスペクト比、細孔内に様々な物質を充填すること、垂直磁化異方性を有する記録媒体
目的 真空蒸着法に基づいて、細孔内に物質を充填する手法によれば、化学反応によらず物質を簡便に細孔内に充填することが可能となるものの、陽極ポーラスアルミナ表面部分の細孔の直行性が低いことから、十分な高アスペクト比(細孔長/細孔径比)での充填は困難であることに鑑み、陽極酸化ポーラスアルミナ細孔内に真空蒸着法により他物質を充填するに際し、高アスペクト比の充填構造を簡便に、かつ、安価に達成可能とした、陽極酸化ポーラスアルミナ及びその製造方法の提供。
効果 エッチング処理の後再び陽極酸化を行うことにより、初期に形成されていた細孔の底部からさらに延長する細孔を形成し、この2段の細孔に対してさらにエッチング処理を行う。また、この陽極酸化とエッチング処理を複数回繰り返す。このような繰り返し処理により、細孔開口部における溶解がより進行してより確実に所望の細孔開口部の拡径処理が行われるとともに、細孔の開口部側ほど拡径された細孔形状となるので、真空蒸着の際に、細孔の奥深くまで、一層容易に充填されるようになる。
技術概要
この技術は、陽極酸化ポーラスアルミナは、表面に複数の細孔が形成された陽極酸化ポーラスアルミナであって、細孔の断面形状が、略逆台形形状である。また、陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法は、下記の工程を有する。(1)アルミニウム素材に陽極酸化処理を施すことにより、細孔を有する陽極酸化ポーラスアルミナの層を形成する工程。(2)エッチング処理により少なくとも陽極酸化ポーラスアルミナの細孔の開口部を拡径する工程。(3)さらに陽極酸化処理を行うことにより、それまでに形成されていた細孔の底部からさらに延びる細孔を形成する工程。(4)さらにこれら細孔に対してエッチング処理を施す工程。(5)工程(3)および工程(4)を繰り返すことにより、断面形状が略逆台形形状である細孔を形成する工程。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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