| 出願番号 |
特願2009-164498 |
| 出願日 |
2009/7/13 |
| 出願人 |
公益財団法人神奈川科学技術アカデミー |
| 公開番号 |
特開2009-258743 |
| 公開日 |
2009/11/5 |
| 登録番号 |
特許第5227909号 |
| 特許権者 |
地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
スタンパおよびそれを用いた反射防止膜の製造方法 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
情報機器用表示装置、視認性、反射光を抑制、屈折率 |
| 目的 |
リソグラフィーを用いる方法では、大面積を加工可能なスタンパを安価に製造することは困難であり、またテーパー形状を制御することは困難であり、また、陽極酸化ポーラスアルミナを用いる手法においても、無反射層形成に必須な最適なテーパー形状を形成するのが困難であるという問題点を有していたことに鑑み、とくに、例えば高分子フィルム面に所望の反射防止膜を効率的に形成すること等が可能なスタンパの製造方法の提供。 |
| 効果 |
簡便に、テーパー形状の孔を有する陽極酸化ポーラスアルミナに基づく鋳型の形成が可能となり、この結果、例えば、可視光域における反射を低減した反射防止層を形成するのに好適なスタンパの製造が可能となる。 |
技術概要
 |
この技術では、スタンパの製造方法は、以下の工程を含む方法からなる。（１）テーパー形状の孔を有する陽極酸化ポーラスアルミナを鋳型として用い、ネガ型材に転写する工程。（２）陽極酸化ポーラスアルミナを除去し、作製されたネガ型にポジ型材を充填し、ネガ型を除去する工程。このスタンパの製造方法においては、ネガ型材は例えばポリマー材料とすることができる。また、ポジ型材は例えば金属とすることができる。このようなスタンパの製造方法は、例えば、無反射高分子フィルムの作製に適用できる。例えば、高分子膜の表面に凹凸を形成し、屈折率を連続的に変化させることで反射を低減させる反射防止膜の製造に際し、凹凸の形成に、表面に細孔を有し、細孔に、陽極酸化と孔径拡大処理を組み合わせることで、連続的に細孔径が変化するテーパー形状を付与した陽極酸化ポーラスアルミナを鋳型として、その構造をネガ型材に転写し、陽極酸化ポーラスアルミナを除去し、作製されたネガ型にポジ型材を充填し、ネガ型を除去してスタンパを製造し、作製したスタンパを鋳型として反射防止膜を製造する方法に適用できる。 |
| 実施実績 |
【試作】 |
| 許諾実績 |
【有】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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