微細構造を有するアルミニウム及びその製造方法

開放特許情報番号
L2011006472
開放特許情報登録日
2012/1/6
最新更新日
2013/7/26

基本情報

出願番号 特願2008-247579
出願日 2008/9/26
出願人 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー
公開番号 特開2010-077502
公開日 2010/4/8
発明の名称 微細構造を有するアルミニウム及びその製造方法
技術分野 機械・加工
機能 材料・素材の製造、表面処理
適用製品 金属に微細でかつ比較的深い構造を形成する技術、深い三次元形状、半導体、アスペクト比
目的 アルミニウムは、電気化学的に異方性エッチングが可能な金属として知られており、塩化物イオンを含む高温の水溶液中で電解エッチングされた(100)面配向アルミニウムには、数ミクロンサイズの正方形の開口を有する比較的深いピットが多数形成されるものの、この場合、ピットの配置はランダムとなることに鑑み、形状が制御された、深さに関して高アスペクト比の微細構造を有するアルミニウム及びその製造方法の提供。
効果 この微細構造を有するアルミニウム及びその製造方法によれば、従来手法では達成し得なかった高アスペクト比の深さを有する微細表面構造を、高度に制御された形状で容易にかつ確実にしかも安価に得ることができる。したがって、このような微細表面構造を有するアルミニウムの用途を大幅に拡大することが可能になり、とくに微細表面構造を利用して金属材料の高機能化が求められる用途への展開が可能になる。
技術概要
この技術は、目的の形状に対応したマスクをアルミニウムの表面に形成し、微量の金属を析出後、適切な特定の条件下で電解エッチングすることにより、目標とする高アスペクト比の微細構造の形成を達成できることを見出したことに基づく。すなわち、微細構造を有するアルミニウムは、表面に、短辺の長さが1〜10ミクロン、長辺/短辺の長さの比が1.5以上の長方形の開口形状を有し、深さ/短辺の長さの比が1以上である(つまり、高アスペクト比の)ピットが、塩化物イオンを含む水溶液中での電解エッチングにより形成されている。このような微細構造を有するアルミニウムにおいては、少なくとも2つのピット同士が、開口形状の少なくとも一部で互いに結合されている形態とする。例えば、少なくとも2つのピットが、開口形状における短辺同士または長辺同士間で互いに結合されている形態、あるいは、一方のピットの開口形状における長辺と他方のピットの開口形状における短辺間で互いに結合されている形態、等の形態とする。また、多数のピットを連接すれば、より大きい形状のピットを形成することができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT