| 出願番号 |
特願2008-172149 |
| 出願日 |
2008/7/1 |
| 出願人 |
公益財団法人神奈川科学技術アカデミー |
| 公開番号 |
特開2008-231580 |
| 公開日 |
2008/10/2 |
| 登録番号 |
特許第4808234号 |
| 特許権者 |
地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
多孔性陽極酸化アルミナ膜の作製方法およびその方法により作製された多孔性陽極酸化アルミナ膜 |
| 技術分野 |
金属材料 |
| 機能 |
機械・部品の製造、材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
均一な細孔径を有する多孔性材料、フィルター、機能材料、ナノデバイス作製の出発構造 |
| 目的 |
規則的な窪み間隔を機械的に形成するために必要なモールドは、電子ビームリソグラフィー技術、フォトリソグラフィー技術などの微細加工技術を用いて作製されるため、モールドの作製に高価な設備を必要とすることに鑑み、微小間隔でかつ規則的に配列された細孔を有する多孔性陽極酸化アルミナ膜を、容易にかつ安価に作製可能な技術の提供。 |
| 効果 |
規則的に配列した表面凹凸構造をアルミニウム表面に転写することにより、その凹凸構造の周期に対応した高規則的な細孔構造をもつアルミナ膜を作製することができる。自己規則的に配列する陽極酸化ポーラスアルミナと比較して、広い範囲の周期で高規則性アルミナ膜を得ることができる。 |
技術概要
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この技術では、多孔性陽極酸化アルミナ膜の作製方法は、規則的に配列した表面凹凸構造をアルミニウム表面に転写する転写工程と、転写工程により得られたアルミニウム表面の凹凸構造のうち、規則的に配列された複数の窪みを起点として所定形状の細孔を有する多孔性陽極酸化アルミナ膜を形成する陽極酸化工程とを有し、表面凹凸構造を、微粒子を規則的に配列することにより形成し、転写工程では、微粒子規則配列による表面凹凸構造を転写した鋳型を先ず作製し、鋳型をアルミニウム表面に押し付けることにより、鋳型の表面凹凸構造をアルミニウム表面に転写する。所定形状の細孔は、実質的に規則的に配列された窪みと同一の間隔および配列で形成される。つまり、微粒子が自己規則的に集合した場合に生ずる二次元規則配列を利用して、その表面凹凸構造のアルミニウム表面へ転写し、転写により生じたアルミニウム表面の凹凸構造の窪みの規則配列を利用して陽極酸化することにより細孔を形成する方法である。 |
| 実施実績 |
【試作】 |
| 許諾実績 |
【有】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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