陽極酸化ポーラスアルミナおよびその製造方法

開放特許情報番号
L2011006467
開放特許情報登録日
2012/1/6
最新更新日
2017/12/27

基本情報

出願番号 特願2008-109293
出願日 2008/4/18
出願人 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー
公開番号 特開2009-256751
公開日 2009/11/5
登録番号 特許第5344850号
特許権者 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所
発明の名称 陽極酸化ポーラスアルミナおよびその製造方法
技術分野 金属材料
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 膜面に対し垂直に配向した微小な細孔、機能材料、筒状構造の集合体、細孔配列の規則性、ナノインプリント用モールド
目的 細孔周期が150nmから250nmの範囲での陽極酸化ポーラスアルミナでは、細孔が縦、横6×6個以上の範囲で三角格子状に欠陥なく配列した陽極酸化ポーラスアルミナの作成条件はいまだ明らかにされていないことに鑑み、幅広い分野への応用展開が期待される細孔周期が200nm程度であり、各細孔が三角格子状に縦、横6個×6個以上理想配列した陽極酸化ポーラスアルミナおよびその製造方法の提供。
効果 周期150nmから250nmの細孔が、目標とする大きさ以上の領域にわたって理想三角格子状に配列されたポーラスアルミナを得ることができ、このような広い領域にわたって高規則性配列の細孔を有するポーラスアルミナは、ナノインプリントをはじめとする機能性材料として幅広い分野に適用することができる。
技術概要
この技術は、陽極酸化のみにより形成された細孔周期150nmから250nmの陽極酸化ポーラスアルミナであって、細孔が、縦、横6個×6個以上の範囲で理想三角格子状に配列されているものからなる。このような陽極酸化ポーラスアルミナは、化成電圧70Vから130Vの範囲で地金アルミニウムを電解液中で陽極酸化することで作製することが可能である。また、陽極酸化ポーラスアルミナは、1M以上の濃度のシュウ酸を主成分とする電解液を用いて、陽極酸化することが望ましく、陽極酸化時の浴温を25℃以上(特に、25℃から40℃)とすることが好ましい。見出された陽極酸化条件では、陽極酸化の際に試料に過剰な反応熱が生じるために、試料全面にわたって均一に陽極酸化皮膜を形成することが容易でないが、陽極酸化の際の温度、電圧、電解液濃度を段階的に上昇させて目的の値にする手法を用いると、再現性よく陽極酸化を行うことが可能となる。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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