| 出願番号 |
特願2007-218240 |
| 出願日 |
2007/8/24 |
| 出願人 |
公益財団法人神奈川科学技術アカデミー |
| 公開番号 |
特開2009-052066 |
| 公開日 |
2009/3/12 |
| 登録番号 |
特許第5032239号 |
| 特許権者 |
地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
インプリント用モールドおよびその製造方法 |
| 技術分野 |
金属材料 |
| 機能 |
機械・部品の製造、材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
撥水・撥油性膜、反射防止膜、細胞培養シート、機能性デバイス、パターンの微細化 |
| 目的 |
幅広い分野への応用展開が期待される陽極酸化ポーラスアルミナに利用したナノインプリント用モールドによる光インプリントプロセスを、不透明な基板に適用するために、表面に規則的なホールアレー構造を有する平板形状またはロール形状の実質的に透明な光透過性のモールドおよびその製造方法の提供。 |
| 効果 |
モールド面に規則的なホールアレー構造を有し、モールド背面より光照射が可能なインプリント用モールドが得られるので、不透明な基板への光インプリントプロセスの適用が可能になり、陽極酸化ポーラスアルミナに利用したナノインプリント技術を、より幅広い分野に展開することが可能になる。 |
技術概要
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この技術では、インプリント用モールドは、アルミニウム材の陽極酸化により表面に規則的なホールアレー構造が形成されたモールドであって、アルミニウム材のさらなる陽極酸化により残りの地金アルミニウム部分まで酸化され、地金アルミニウム部分が酸化アルミニウムとされることにより全体が光透過可能に構成されている。このインプリント用モールドは、平板形状のモールドは勿論のこと、ロール形状のモールドとして形成されることもできる。例えば、パイプ形状に形成され、その外周面に規則的なホールアレー構造が形成されているインプリント用モールドとして形成されることもできる。また、このように構成されたインプリント用モールド部分のみでは機械強度が十分でないと考えられる場合には、支持層を付設しておくことも可能である。例えば、光透過可能に構成されたモールドの、規則的なホールアレー構造が形成されている表面とは反対側の背面に、ガラスやポリマーからなるモールドの機械強度向上用の支持層が設けられている構成とすることが可能である。 |
| 実施実績 |
【試作】 |
| 許諾実績 |
【有】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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