ホールアレーの製造方法

開放特許情報番号
L2011006435
開放特許情報登録日
2012/1/6
最新更新日
2013/9/2

基本情報

出願番号 特願2003-311363
出願日 2003/9/3
出願人 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー
公開番号 特開2005-076118
公開日 2005/3/24
登録番号 特許第4230861号
特許権者 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー
発明の名称 ホールアレーの製造方法
技術分野 金属材料
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 触媒、センサー、電子・光学デバイス、サイズの均一な円筒状の細孔が規則的に配列したホールアレー構造
目的 陽極酸化ポーラスアルミナの構造を忠実に転写したホールアレー構造の作製工程は、はじめにポーラスアルミナのネガ型を作製し、その後ポジ型を作製するという2段階のプロセスからなることから、複雑であるという問題点を有していたことに鑑み、サイズの均一な細孔が膜面に対し直交したホールアレーを煩雑な工程を経ることなく大面積においても容易にかつ安価に製造することが可能なホールアレーの製造方法の提供。
効果 微細で均一なサイズの細孔が均一な周期で形成されたホールアレーを、煩雑な工程を経ることなく容易にかつ安価に製造することができる。また、素材として用いるポーラスアルミナは特定の電解浴中での陽極酸化すればよいだけであるから、容易に大型のものまで作製でき、大型のホールアレーであっても、容易に作製することができる。
技術概要
この技術は、ホールアレーの製造方法は、7M以上の硫酸を含む電解浴中でアルミニウムを陽極酸化して得られるポーラスアルミナのセル境界部分を溶解することにより形成される空隙に、物質の充填を行うことによりホールアレーを得る方法からなる。このように、ホールアレーの作製に、アルミニウムを7M以上の硫酸を含む電解浴中で陽極酸化することにより得られる陽極酸化ポーラスアルミナを用いる。通常の条件で作製した陽極酸化ポーラスアルミナではセル境界部の選択的な溶解は不可能であるが、電解浴に7M以上の硫酸を含む水溶液を用いることにより、セルの境界部分が優先的に溶解するポーラスアルミナが作製される。このとき、アルミニウムの表面積1平方センチメートルあたりのセルの数が5.0×10↑8〜3.0×10↑(11)個であれば、セル境界の特異的な溶解特性が確実に出現する。したがって、陽極酸化によりアルミニウムの表面積1平方センチメートル当たり5.0×10↑8〜3.0×10↑(11)個のアルミナセルを形成することが好ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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