液浸インプリント方法

開放特許情報番号
L2011006182
開放特許情報登録日
2011/12/16
最新更新日
2015/6/26

基本情報

出願番号 特願2011-195212
出願日 2011/9/7
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2013-056440
公開日 2013/3/28
発明の名称 液浸インプリント方法
技術分野 機械・加工、電気・電子
機能 機械・部品の製造、加熱・冷却
適用製品 成形材料の表面に微細凹凸構造を転写するインプリント方法
目的 インプリント工程中の雰囲気を構成する気体が、モールド表面に形成された凹凸構造内の空隙に取り込まれることによる転写精度の低下を防止する。
効果 熱インプリントにおいて欠陥の防止が困難な基板上に塗布された熱可塑性材料薄膜に対して、成形温度でも気化しない高沸点液体をモールドと成形材料間に挿入し、残留空気を高沸点液体で置換することによって、モールド表面の凹凸パターンを成形材料上に完全転写できるようになる。
技術概要
基板表面上に塗布した成形材料を成形温度に加熱し、この成形材料をモールドに対してプレスして、モールド表面に形成した凹凸構造を転写する工程を備えたインプリント方法において、成形材料をモールドに対してプレスする工程に先立って、モールド表面に形成された凹凸構造内部に、成形材料の成形温度より沸点及び発火点が高い液体を充填し、該凹凸構造内部の空気と置換する工程を設ける。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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