出願番号 |
特願2005-153365 |
出願日 |
2005/5/26 |
出願人 |
国立大学法人九州大学 |
公開番号 |
特開2006-329802 |
公開日 |
2006/12/7 |
登録番号 |
特許第4825968号 |
特許権者 |
国立大学法人九州大学 |
発明の名称 |
カーボンナノチューブセンサ及びその製造方法 |
技術分野 |
その他 |
機能 |
機械・部品の製造、検査・検出 |
適用製品 |
カーボンナノチューブセンサ |
目的 |
測定ガスに対して、高感度で高速に応答し、安価で、製造が容易なカーボンナノチューブセンサを提供する。また、測定ガスに対して、高感度で高速に応答し、安価で、製造が容易なカーボンナノチューブセンサを製造する製造方法を提供する。 |
効果 |
このカーボンナノチューブセンサによれば、測定ガスに対して、高感度で高速に応答でき、安価で製造が容易になる。 |
技術概要
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図1(a)はカーボンナノチューブセンサの説明図、図1(b)は(a)の要部説明図、図2はカーボンナノチューブセンサを装着してガス検出するガス測定装置の構成図である。図1(a)(b)において、1はNO2、NOガス等のNO↓xガス、SF↓6分解ガス等を検出するためのチップ状のCNTセンサ、1a、1bはキャッスルウォール型電極、櫛歯型電極等の形状を備えたアルミニウム等の一対の電極、2は単層ナノチューブ(SWCNT)等からなる集積体の半導体カーボンナノチューブ材料(CNT材料)、3a、3bは誘電泳動を実施可能にする不平等電界を発生する屈曲した縁部(エッジ)等の電界集中用縁部、4は絶縁基板、5a、5bは電極1a、1bの接続端子である。CNT材料2が検出素子である。6はCNT材料2の架橋端が電極1a、1bと電気的に接合される接合部である。接合部6はショットキー接合部となっている。 |
イメージ図 |
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実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【可】
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特許権実施許諾 |
【可】
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