| 出願番号 |
特願2005-153365 |
| 出願日 |
2005/5/26 |
| 出願人 |
国立大学法人九州大学 |
| 公開番号 |
特開2006-329802 |
| 公開日 |
2006/12/7 |
| 登録番号 |
特許第4825968号 |
| 特許権者 |
国立大学法人九州大学 |
| 発明の名称 |
カーボンナノチューブセンサ及びその製造方法 |
| 技術分野 |
その他 |
| 機能 |
機械・部品の製造、検査・検出 |
| 適用製品 |
カーボンナノチューブセンサ |
| 目的 |
測定ガスに対して、高感度で高速に応答し、安価で、製造が容易なカーボンナノチューブセンサを提供する。また、測定ガスに対して、高感度で高速に応答し、安価で、製造が容易なカーボンナノチューブセンサを製造する製造方法を提供する。 |
| 効果 |
このカーボンナノチューブセンサによれば、測定ガスに対して、高感度で高速に応答でき、安価で製造が容易になる。 |
技術概要
 |
図１（ａ）はカーボンナノチューブセンサの説明図、図１（ｂ）は（ａ）の要部説明図、図２はカーボンナノチューブセンサを装着してガス検出するガス測定装置の構成図である。図１（ａ）（ｂ）において、１はＮＯ２、ＮＯガス等のＮＯ↓ｘガス、ＳＦ↓６分解ガス等を検出するためのチップ状のＣＮＴセンサ、１ａ、１ｂはキャッスルウォール型電極、櫛歯型電極等の形状を備えたアルミニウム等の一対の電極、２は単層ナノチューブ（ＳＷＣＮＴ）等からなる集積体の半導体カーボンナノチューブ材料（ＣＮＴ材料）、３ａ、３ｂは誘電泳動を実施可能にする不平等電界を発生する屈曲した縁部（エッジ）等の電界集中用縁部、４は絶縁基板、５ａ、５ｂは電極１ａ、１ｂの接続端子である。ＣＮＴ材料２が検出素子である。６はＣＮＴ材料２の架橋端が電極１ａ、１ｂと電気的に接合される接合部である。接合部６はショットキー接合部となっている。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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