カーボンナノチューブセンサ及びその製造方法

開放特許情報番号
L2011006025
開放特許情報登録日
2011/12/9
最新更新日
2011/12/9

基本情報

出願番号 特願2005-153365
出願日 2005/5/26
出願人 国立大学法人九州大学
公開番号 特開2006-329802
公開日 2006/12/7
登録番号 特許第4825968号
特許権者 国立大学法人九州大学
発明の名称 カーボンナノチューブセンサ及びその製造方法
技術分野 その他
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 カーボンナノチューブセンサ
目的 測定ガスに対して、高感度で高速に応答し、安価で、製造が容易なカーボンナノチューブセンサを提供する。また、測定ガスに対して、高感度で高速に応答し、安価で、製造が容易なカーボンナノチューブセンサを製造する製造方法を提供する。
効果 このカーボンナノチューブセンサによれば、測定ガスに対して、高感度で高速に応答でき、安価で製造が容易になる。
技術概要
図1(a)はカーボンナノチューブセンサの説明図、図1(b)は(a)の要部説明図、図2はカーボンナノチューブセンサを装着してガス検出するガス測定装置の構成図である。図1(a)(b)において、1はNO2、NOガス等のNO↓xガス、SF↓6分解ガス等を検出するためのチップ状のCNTセンサ、1a、1bはキャッスルウォール型電極、櫛歯型電極等の形状を備えたアルミニウム等の一対の電極、2は単層ナノチューブ(SWCNT)等からなる集積体の半導体カーボンナノチューブ材料(CNT材料)、3a、3bは誘電泳動を実施可能にする不平等電界を発生する屈曲した縁部(エッジ)等の電界集中用縁部、4は絶縁基板、5a、5bは電極1a、1bの接続端子である。CNT材料2が検出素子である。6はCNT材料2の架橋端が電極1a、1bと電気的に接合される接合部である。接合部6はショットキー接合部となっている。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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