レーザ干渉変位測定方法およびレーザ干渉変位測定装置

開放特許情報番号
L2011005802
開放特許情報登録日
2011/11/18
最新更新日
2011/11/18

基本情報

出願番号 特願2004-290013
出願日 2004/10/1
出願人 国立大学法人 新潟大学
公開番号 特開2006-105669
公開日 2006/4/20
登録番号 特許第4501000号
特許権者 国立大学法人 新潟大学
発明の名称 レーザ干渉変位測定方法およびレーザ干渉変位測定装置
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 レーザ干渉変位測定方法、レーザ干渉変位測定装置
目的 従来よりも高速に、被対象物の変位を正確に測定することができるレーザ干渉変位測定方法およびレーザ干渉変位測定装置の提供。
効果 注入電流の変調周波数が高くなっても、干渉信号を正しくサンプリング取得することが可能になり、従来よりも高速に被対象物の変位を正確に測定することができる。
技術概要
この技術では、レーザ干渉変位測定方法は、正弦波状に変調した注入電流をレーザ光源に入力し、波長を時間的に変化させながらレーザ光源から光を発生させる第1の工程と、光を分割して被対象物の表面と参照面に各々反射させた後、被対象物表面からの物体光と参照面からの参照光を合成して干渉光を得る第2の工程と、干渉光を電気的な干渉信号に変換する第3の工程と、正弦波状の変調周波数を基準として、変調周波数の1周期に対し一定間隔で干渉信号をサンプリング取得し、このサンプリング取得した各信号を演算処理して被対象物の変位を測定する第4の工程と、を含む。また、レーザ光源の光強度変化を電気的な検出信号に変換する第5の工程と、第3の工程における干渉信号を検出信号で除算し、時間的な光強度変化を除去した干渉信号を得る第6の工程と、をさらに含み、第4の工程は、第6の工程で得た時間的な光強度変化を除去した干渉信号をサンプリング取得するものとする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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