モアレ縞を用いたずれ、パタ−ンの回転、ゆがみ、位置ずれ検出方法

開放特許情報番号
L2011005772
開放特許情報登録日
2011/11/18
最新更新日
2011/11/18

基本情報

出願番号 特願2005-260836
出願日 2005/9/8
出願人 国立大学法人 和歌山大学
公開番号 特開2007-071769
公開日 2007/3/22
登録番号 特許第3937024号
特許権者 国立大学法人 和歌山大学
発明の名称 モアレ縞を用いたずれ、パタ−ンの回転、ゆがみ、位置ずれ検出方法
技術分野 情報・通信
機能 制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 複数の投影表示装置と撮影装置の正確な画素対応や、正確な位置合わせを必要とする光学装置更には平面物体の平面度と垂直性に関する検査装置、半導体露光装置(ステッパ)の位置合わせ装置に適用
目的 モアレ縞を観察することにより、画素オーダー以下の精度で、容易に画素合わせや位置合わせを行なうことを目的とする。
効果 容易に画素合わせや位置合わせを行うことができる。 画素オーダー以下の精度で調整することができる。 1枚の画像を撮影するだけで良いので、リアルタイムでずれによるモアレ縞を観察することができる。 1枚の画像からモアレ縞の位相分布を得ることができる。特殊の装置を必要としない。 モアレパターンを利用して、簡単に平面度と垂直性を判定できる。 常にモアレ縞が発生しないように自動調整することにより精密に位置合わせを行うことができる。
技術概要
光学系のずれ、パターンの回転及び位置のずれ検出方法は、ピッチが2画素のテストパターンを表示もしくは貼付したパターンを画素が2次元に配列している撮像素子により撮影し、撮影された画像に対して隣り合う上下左右の4画素との差の絶対値の和を計算する画像処理を行い、所定のモアレ縞本数を具えるモアレパターンを得る。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT