| 出願番号 |
特願2004-028148 |
| 出願日 |
2004/2/4 |
| 出願人 |
国立大学法人 和歌山大学 |
| 公開番号 |
特開2005-219150 |
| 公開日 |
2005/8/18 |
| 登録番号 |
特許第3867146号 |
| 特許権者 |
国立大学法人 和歌山大学 |
| 発明の名称 |
微小構造物の作製方法およびその方法で作製された微小構造物 |
| 技術分野 |
機械・加工、有機材料、その他 |
| 機能 |
機械・部品の製造、材料・素材の製造、その他 |
| 適用製品 |
微小構造物の作製方法、及びこの方法によって得た微小構造物、並びにこの微小構造物を利用したマイクロカンチレバーなどの微小構造部品。 |
| 目的 |
実用的な微小構造部品を簡易に提供すること。 |
| 効果 |
複雑かつ困難な加工技術を用いることなく、実用的な微小構造部品を簡易に提供することができる。 |
技術概要
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微小構造物の作製方法は、単一種類の光硬化性樹脂からプレフォームを形成する工程と、プレフォームに対して部位によって強度の異なるレーザ光を照射することにより、プレフォームに対して部位によって程度の異なる光硬化反応を誘起し、プレフォームのヤング率を、加工対象の部位である加工部分とそれ以外の部位である非加工部分とで異ならせる工程と、プレフォームの、非加工部分に比べてヤング率の低い加工部分を加工し、加工部分と非加工部分とからなる微小構造物を形成する工程とを具えている。プレフォームの任意の部分に照射すべきレーザ光の強度を変化させることによって、単一のプレフォームの部分のヤング率を自在に制御する。微小構造物は１ｍｍ以下のオーダであり、マイクロカンチレバー、マイクロマシン、マイクロアクチュエータなどである。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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