出願番号 |
特願2003-400494 |
出願日 |
2003/11/28 |
出願人 |
国立大学法人 和歌山大学 |
公開番号 |
特開2005-164294 |
公開日 |
2005/6/23 |
登録番号 |
特許第3837565号 |
特許権者 |
国立大学法人 和歌山大学 |
発明の名称 |
評価値を用いる縞画像計測データ合成方法 |
技術分野 |
情報・通信 |
機能 |
制御・ソフトウェア、検査・検出 |
適用製品 |
複数の縞画像計測データを合成する縞画像計測データ合成方法 |
目的 |
複数の計測データのうち最も精度良く計測できたデータを用いて合成することによって、精度の良い結果を得ることができる縞画像計測データ合成方法の提供を目的とする。 |
効果 |
同じ位置に対して複数の計測データが存在する場合、画素ごとに最も精度よく出来たデータのみを用いて合成することができる。また、評価値は計測手法に合わせた方法で決定することができる。さらに、計測条件を変えた場合の合成が簡単になる。 |
技術概要
 |
縞画像計測データ合成方法は、各々複数の位相シフトされた縞画像データを位相解析して複数の位相分布データを得るステップと、複数の位相分布データの各々に関して関連する縞画像データから画素ごとに、縞画像の縞の振幅、或いは、周波数成分の比、に応じた値を評価値に決定するステップと、複数の位相分布データを画素ごとに対応する評価値の高い縞画像データをそれぞれ選択し、選択されたそれぞれの縞画像データを位相解析して位相分布結果、或いは、さらに位相分布より求めた高さ分布もしく変位・ひずみ分布を合成するステップとを含む。 |
イメージ図 |
|
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【有】 |
特許権譲渡 |
【否】
|
特許権実施許諾 |
【可】
|