周波数変調格子による格子投影形状計測方法及び装置

開放特許情報番号
L2011005753
開放特許情報登録日
2011/11/18
最新更新日
2011/11/18

基本情報

出願番号 特願2002-057776
出願日 2002/3/4
出願人 和歌山大学長
公開番号 特開2003-254732
公開日 2003/9/10
登録番号 特許第3536097号
特許権者 国立大学法人和歌山大学
発明の名称 周波数変調格子による格子投影形状計測方法及び装置
技術分野 情報・通信、電気・電子、その他
機能 検査・検出、機械・部品の製造、その他
適用製品 形状計測装置
目的 この発明は、簡単な構造の装置で位相接続を行うことができる形状計測方法及び装置を提供する。
効果 この発明によれば、位置によってピッチが周期的に変化する格子模様を物体に投影し、表面の形状を非接触、高速、高精度に計測する。周波数変調格子には、単色の格子に輝度変化成分と周波数変化成分の2種類の成分が組み込まれており、これらの成分の位相分布を解析して、位相接続を行うことで、大きな段差や不連続な形状を持つ物体に対しても精度よく形状を計測できる。
技術概要
従来の形状計測法において、格子の位相解析により得られる位相分布は0〜2πの繰り返しの不連続な値となっており、位置に対し一意の値として求めるためには、分解能を落としてピッチの大きな格子を投影するか、格子の位相分布を位相接続する必要があった。しかし、従来の位相接続方法は、1種類の格子のみを用いる方法では、物体が急激な段差を持つ場合に高さを求めることができず、この欠点を克服するためにピッチの異なる複数の格子を用いる方法では、計測装置の構造が複雑になり、連続的な解析にも向かないという欠点があった。この発明の格子投影形状計測方法は、位置によって周波数と輝度が各々周期的に変化する周波数変調格子を所定の速度で移動させながら計測対象物体に投影するステップと、格子が投影された計測対象物体を連続的に一定間隔で撮影するステップと、この撮影された画像から、周波数に関する位相分布と、輝度に関する位相分布とを各々求めるステップと、周波数に関する位相分布と、輝度に関する位相分布とを使用して位相接続するステップと、この位相接続した位相分布を計測対象物体の高さ分布に対応させるステップとを含むものである。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT