マイクロ光造形法

開放特許情報番号
L2011005748
開放特許情報登録日
2011/11/18
最新更新日
2011/11/18

基本情報

出願番号 特願2000-352681
出願日 2000/11/20
出願人 和歌山大学長
公開番号 特開2002-154163
公開日 2002/5/28
登録番号 特許第3520329号
特許権者 国立大学法人和歌山大学
発明の名称 マイクロ光造形法
技術分野 機械・加工、有機材料、その他
機能 機械・部品の製造、その他
適用製品 マイクロセンサ、マイクロアクチュエータ及びマイクロマシンの分野で用いるマイクロ光造形法。
目的 簡易かつ比較的短時間で微小な3次元構造物を作製することのできる新規な光造形法を提供すること。
効果 比較的短時間の作製が可能となる。線分状に硬化させ、突起状物などの特異形状物もこの線分で構成することにより、支持部材を必用とすることなく簡易に形成することができる。
技術概要
マイクロ光造形法、液状の光硬化性樹脂の内部にレーザ光を走査させながら連続的に照射し、複数の面状体から3次元的に構成された3次元微小構造物を作製する方法であり、光硬化性樹脂の内部を線分的に連続させて硬化することにより、3次元微小構造物の底面部分を形成し、次いで、3次元微小構造物の側面部分を形成し、次いで、3次元微小構造物の上面部分を形成する。3次元微小構造物内の未硬化部分は微小構造物の全体に紫外光を照射することで硬化させる。3次元微小構造物は、1mm以下や、10μm以下のオーダの大きさである。マイクロ光造形装置は、レーザ光源と、このレーザ光源から発するレーザ光のスポット径を絞るための倒立型光学顕微鏡と、溶融状態の光硬化性樹脂を配置し、レーザ光照射によって微小構造物を作製するための3次元電動ステージとを具えている。3次元電動ステージ3の上方にはCCDカメラ7及びVTR8が具えていて、リアルタイムで観察できる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT