矩形波格子投影によるリアルタイム形状変形計測方法

開放特許情報番号
L2011005747
開放特許情報登録日
2011/11/18
最新更新日
2011/11/18

基本情報

出願番号 特願2000-279457
出願日 2000/9/14
出願人 和歌山大学長
公開番号 特開2002-090126
公開日 2002/3/27
登録番号 特許第3554816号
特許権者 国立大学法人和歌山大学
発明の名称 矩形波格子投影によるリアルタイム形状変形計測方法
技術分野 情報・通信
機能 制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 非接触形状計測方法
目的 物体が移動することによる誤差を軽減し、リアルタイムで位相接続が可能な形状変形計測方法の提供を目的とする。
効果 各画素ごとに位相接続を行うことができるため、段差などの不連続部分のある物体であっても位相接続を行うことができ、したがって、従来の方法によるよりもダイナミックレンジが広くなり、高分解能に形状計測を行うことができる。
技術概要
試料に投影する1ピッチを明暗比1:2に分けた矩形波状の格子の位相を連続的にシフトしながら、1/3ピッチの位相シフトごとに1つの格子画像を積分画像として順次取得し、それぞれ対応する第1〜第3フレームメモリに更新しながら格納する。これら第1〜第3フレームメモリに格納された各画像の対応する画素の輝度値に基づいて、予め演算して求めた位相値に対応する輝度値を格納する3次元位相算出テーブルから対応する位相値の輝度値を画素ごとに読み出して、試料の位相分布画像をリアルタイムで得る。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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