水素ガス検知材とその被膜方法

開放特許情報番号
L2011005685
開放特許情報登録日
2011/11/11
最新更新日
2017/3/22

基本情報

出願番号 特願2006-102809
出願日 2006/4/4
出願人 独立行政法人日本原子力研究開発機構
公開番号 特開2007-278744
公開日 2007/10/25
登録番号 特許第4775708号
特許権者 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
発明の名称 水素ガス検知材とその被膜方法
技術分野 化学・薬品
機能 材料・素材の製造、検査・検出
適用製品 水素ガス検知材
目的 酸化タングステンを用いた水素ガス検知材とその被膜方法を提供する。
効果 有機化合物、樹脂、ビニール等の高分子材料からなる基材表面上へ、水素吸着により光の吸収特性が変化する水素ガス検知材を被膜することが可能となる。その結果、製造コストが安価で、環境負荷が低く、環境衛生上安全な水素ガス検知シートや水素ガスセンサーの製造が可能となる。
技術概要
主成分が非晶質の酸化タングステンであり、その形状が薄膜である水素ガス検知材であって、酸化タングステンはスパッタリング法を用いて基材の表面上に被膜され、被膜時の基材温度は室温である、水素ガス検知材である。水素ガス検知材を被膜する方法では、スパッタリングの投入電力が50W、基材とスパッタリングターゲットとの距離が10cmであって、酸素ガス圧が14〜80mPa、アルゴンガス圧が130〜170mPaのアルゴンと酸素の混合雰囲気でスパッタリングを行う。図1は水素ガス検知材の断面の模式図を示す。被膜した膜の結晶性をX線回折法により評価した結果を図2に示す。線源にはCu Kα線を使用した。回折角度23度付近に幅の広い回折ピークが見られるが、他のピークは見られない。石英ガラス基板と、市販されている純度99.9%の酸化タングステン(WO↓3)の回折ピークと比較すると、回折角度23度付近の幅広のピークは石英ガラス基板の非晶質に由来することが分かる。したがって、得られた該酸化タングステン薄膜は非晶質であると考えられる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 被膜方法により、多種類の基材に被膜することができ、水素ガスの漏洩を検知するテープ、シート或いは試験紙、水素ガス検知センサーの製造が可能となる。水素製造プラントにて製造される水素ガスの監視、燃料電池自動車用の燃料電池、水素貯蔵タンクや配管における水素ガスの漏洩の監視、金属、化学、食品、製薬工場等における精製、化合或いは合成工程において使用または発生する水素ガスの監視に使用できる。
改善効果2 次世代の水素エネルギーの実用化技術に欠くことのできない安全性を確保した水素ガス検知材の被膜方法を提供するものとして有用である。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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