形状測定方法及び装置

開放特許情報番号
L2011005633
開放特許情報登録日
2011/11/11
最新更新日
2011/11/11

基本情報

出願番号 特願2007-032367
出願日 2007/2/13
出願人 国立大学法人 新潟大学
公開番号 特開2008-196970
公開日 2008/8/28
登録番号 特許第4696249号
特許権者 国立大学法人 新潟大学
発明の名称 形状測定方法及び装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 光学系の形状測定装置
目的 測定対象の位置設定精度に対する厳しい条件がなく、2次関数の表面形状成分を含む表面形状も測定できる形状測定方法及び装置を提供する。
効果 位置設定精度に対する厳しい条件がなく、表面形状成分を含む表面形状も正確に測定できる形状測定方法及び装置とする事が出来る。
技術概要
レーザ光源10からのレーザビームを測定対象表面上で高速に1次元走査し、かつ同時に測定対象30の表面の傾斜によるレーザビームの角度振れを検出する光学系で構成される形状測定装置を得る。本装置では、平面ミラー21と凹球面ミラー22の位置関係を設定し、かつ角度振れを受けた反射レーザビームをレンズ41により光ビーム検出器42上に導くことにより、測定対象30表面の傾斜によって測定対象面からの反射レーザビームの伝搬方向が異なることから表面形状の測定を行う。このため、正確に角度振れを検出することができ、測定対象30の位置設定精度に対する厳しい条件はなくなり、2次関数の表面形状成分を含む表面形状も正確に測定する事ができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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