| 出願番号 |
特願2010-511923 |
| 出願日 |
2009/4/8 |
| 出願人 |
国立研究開発法人科学技術振興機構 |
| 公開番号 |
WO2009/139238 |
| 公開日 |
2009/11/19 |
| 登録番号 |
特許第4913242号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人科学技術振興機構 |
| 発明の名称 |
ダイナミックモードＡＦＭ装置 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造、検査・検出 |
| 適用製品 |
ダイナミックモードＡＦＭ装置 |
| 目的 |
探針−試料間距離を自動的に求めることができる自動制御系を構成し、高速に試料表面の原子を同定することができるダイナミックモードＡＦＭ（原子間力顕微鏡）装置を提供する。 |
| 効果 |
真空のみならず、気体や液体中でも適応可能であり、例えば、液中の固体表面の動的な変化を、関与している元素を高分解能で認識しつつ撮像することが可能となる。また、表面科学、表面工学に限られず、ナノ加工、バイオ高分解能イメージング等への高い波及性を有する。 |
技術概要
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図１は、基本的なダイナミックモードＡＦＭ装置のブロック図、図２はダイナミックモードＡＦＭ装置の共振周波数の探針−試料間距離に対する傾きが正の場合（Ｃ）、負の場合（Ａ）または零の場合（Ｂ）の各位置におけるディザ信号と共振周波数変化の波形図、図３はダイナミックモードＡＦＭ装置のブロック図、である。ダイナミックモードＡＦＭ装置において、カンチレバー２と試料１を相対的に３次元走査するスキャナ３と、カンチレバー２の撓み振動のあるモードの共振周波数の交流信号を発生する手段８と、共振周波数でカンチレバー２に撓み振動を励起する手段９と、撓み振動の周波数よりも低い第２の周波数の交流信号を発生する手段１０と、第２の周波数でカンチレバー２の探針２Ａ−試料１間距離を変調する手段１１と、共振周波数の変動を検出する手段５と、カンチレバー２の振動を検出する手段４と、共振周波数の変動を検出する手段５の検出信号に含まれる探針２Ａ−試料１間距離の変調信号に同期した変動成分を検出する手段６を備え、変動成分の強度と極性から共振周波数の探針２Ａ−試料１間距離に対する傾きを求める。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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