ダイナミックモードAFM装置

開放特許情報番号
L2011005527
開放特許情報登録日
2011/11/4
最新更新日
2018/1/5

基本情報

出願番号 特願2010-511923
出願日 2009/4/8
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号 WO2009/139238
公開日 2009/11/19
登録番号 特許第4913242号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 ダイナミックモードAFM装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 ダイナミックモードAFM装置
目的 探針−試料間距離を自動的に求めることができる自動制御系を構成し、高速に試料表面の原子を同定することができるダイナミックモードAFM(原子間力顕微鏡)装置を提供する。
効果 真空のみならず、気体や液体中でも適応可能であり、例えば、液中の固体表面の動的な変化を、関与している元素を高分解能で認識しつつ撮像することが可能となる。また、表面科学、表面工学に限られず、ナノ加工、バイオ高分解能イメージング等への高い波及性を有する。
技術概要
図1は、基本的なダイナミックモードAFM装置のブロック図、図2はダイナミックモードAFM装置の共振周波数の探針−試料間距離に対する傾きが正の場合(C)、負の場合(A)または零の場合(B)の各位置におけるディザ信号と共振周波数変化の波形図、図3はダイナミックモードAFM装置のブロック図、である。ダイナミックモードAFM装置において、カンチレバー2と試料1を相対的に3次元走査するスキャナ3と、カンチレバー2の撓み振動のあるモードの共振周波数の交流信号を発生する手段8と、共振周波数でカンチレバー2に撓み振動を励起する手段9と、撓み振動の周波数よりも低い第2の周波数の交流信号を発生する手段10と、第2の周波数でカンチレバー2の探針2A−試料1間距離を変調する手段11と、共振周波数の変動を検出する手段5と、カンチレバー2の振動を検出する手段4と、共振周波数の変動を検出する手段5の検出信号に含まれる探針2A−試料1間距離の変調信号に同期した変動成分を検出する手段6を備え、変動成分の強度と極性から共振周波数の探針2A−試料1間距離に対する傾きを求める。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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