マスキング機構及びそれを備えた成膜装置

開放特許情報番号
L2011005506
開放特許情報登録日
2011/11/4
最新更新日
2015/10/2

基本情報

出願番号 特願2004-251151
出願日 2004/8/30
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2006-063433
公開日 2006/3/9
登録番号 特許第4766416号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 マスキング機構及びそれを備えた成膜装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 マスキング機構及びそれを備えた成膜装置
目的 簡単な構成により、容易に小型化に対応することができるようにした、マスキング機構及びそれを備えた成膜装置を提供する。
効果 各マスクが多角柱状に配置されていることから、マスク部に多数のマスクが装着されると共に、全体として比較的小型に構成される。また、マスキングの際には、選択されたマスクが駆動軸の軸方向に沿って移動して、直線的なマスク孔の移動によりマスキングされるので、基板上に成膜された薄膜の膜厚傾斜の線形性が良好に保持される。
技術概要
図1は、成膜装置に用いるマスキング機構の構成を示す概略斜視図、図2は、図1のマスキング機構の要部の構成を示す部分拡大断面図、図3は、図1のマスキング機構におけるマスク部の正面図、図4は、図3のマスク部におけるマスク支持板の構成を示す拡大平面図、である。マスキング機構10は、成膜装置用のマスキング機構であって、真空フランジ11と、駆動軸12と、マスク部13と、を含む。駆動軸12は、真空フランジ11を貫通するように、真空フランジ11に対して軸受部11aを介して、矢印Aで示すように回転可能に、かつ、矢印Bで示すように軸方向に移動可能に気密的に支持される。図2に示すように、真空フランジ11が真空チャンバー14の側壁の開口部に取り付けられたとき、外端が真空フランジ11の外側に突出するようになっている。そして、駆動軸12の外端が駆動源に連結されることにより、駆動軸12が回転駆動され、また軸方向に往復移動される。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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