気体の分子量測定装置

開放特許情報番号
L2011005377
開放特許情報登録日
2011/10/21
最新更新日
2015/8/24

基本情報

出願番号 特願2011-147222
出願日 2011/7/1
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2013-015362
公開日 2013/1/24
登録番号 特許第5769167号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 気体の分子量測定装置
技術分野 情報・通信
機能 材料・素材の製造、検査・検出
適用製品 気体の分子量測定装置
目的 リアルタイムの計測が可能で、小型化が可能で、測定圧力領域が大気圧以上から減圧まで対応できる分子量測定装置を提供する。
効果 従来の質量分析装置に比べて、真空排気系が必要なく、小型・低価格とすることができ、また被測定気体のイオン化が必要ないので気体の分解や測定後の気体の廃棄の必要がない。また、圧力変動のある箇所に設置しても圧力の影響を受けることなく計測でき、その結果圧力変動の大きい箇所での計測が可能で、たとえば流量変動に伴い圧力変動が発生しやすい配管内の気体を計測対象とすることができる。
技術概要
被測定気体でみたされる測定室と、測定室内に設置された振動子と、振動子を励振するとともに振動子の励振パラメータを測定する励振測定部と、振動子が置かれている気体の圧力を測定する圧力測定子と、振動子の温度を測定する温度測定子とを備えた気体の分子量を測定する装置において、前記励振測定部で測定した励振パラメータと前記圧力測定子で測定した圧力と前記温度測定子で測定した温度とから気体の分子量を演算する演算部を備えている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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