カーボンナノチューブ表面付着物の処理方法

開放特許情報番号
L2011005118
開放特許情報登録日
2011/9/22
最新更新日
2011/9/22

基本情報

出願番号 特願2006-003419
出願日 2006/1/11
出願人 国立大学法人三重大学
公開番号 特開2007-186353
公開日 2007/7/26
発明の名称 カーボンナノチューブ表面付着物の処理方法
技術分野 電気・電子、機械・加工、無機材料
機能 洗浄・除去
適用製品 電界放出用陰極材料、グラファイトシートがロール状に巻いた構造、カーボンナノチューブへの分子状ガスの吸着と脱離技術、スイッチング素子
目的 付着物を除去するために、カーボンナノチューブ(CNT)を真空容器に設置して10↑(−8)Pa程度の高真空状態に保持しつつ、CNTを1,000℃付近で数分間加熱してCNT表面を清浄化する方法はCNT全体を加熱するため、基板に接着されたCNTの接着部をも加熱し、接着剥離の原因となっていたことに鑑み、CNT表面への付着物の除去方法およびCNT表面に吸着したガス分子を精確に制御する方法更にはそれを利用した好適な計測装置の提供。
効果 電界放出用陰極材料としてのCNT電子放出部を、損傷させることなく清浄化できる。又、ガス分子の吸着および脱離を精確に行うことができるため、極高真空計測装置、ガスセンサー装置または超高速スイッチング素子として好適に利用される。
技術概要
この技術は、少なくとも片側の先端部が閉じた単層または多層カーボンナノチューブ先端部の付着物にパルスレーザーを照射することにより、付着物を脱離させるカーボンナノチューブ表面付着物の除去方法にかかわる。ここで付着物とは、炭素、ケイ素、金属原子、及びそれらの化合物、ガス分子を意味する。ここで、パルスレーザーの強度が10〜40mJ/cm↑2であるとよい。パルスレーザー強度が10mJ/cm↑2以下ではガス分子の脱離が十分に行われにくく、一方、パルスレーザー強度が40mJ/cm↑2以上になると、CNT先端部の五員環が損傷を受けやすくなるためである。電子放出中のCNT先端部の五員環へ付着する、金属原子、無機物、ガス分子等を、五員環が損傷を受けることなく除去させることにより、CNT先端部を清浄化させることができる。さらに、CNT先端部の五員環へのガス吸着・脱離を積極的に活用した計測装置の提供が可能となる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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