電界放出型電子銃およびその電源電圧制御方法

開放特許情報番号
L2011005113
開放特許情報登録日
2011/9/22
最新更新日
2011/9/22

基本情報

出願番号 特願2005-267899
出願日 2005/9/15
出願人 国立大学法人三重大学
公開番号 特開2007-080704
公開日 2007/3/29
発明の名称 電界放出型電子銃およびその電源電圧制御方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 顕微鏡機器、電子ビーム露光装置、微細加工装置、X線管球、オージェ電子分光
目的 電子エミッターから放出される電子流は、所定の方向から外れている成分も多く、電子流密度の低下が避けられなかったことに鑑み、電子エミッターから放出される電子流を所定方向に集束させ、高い電子流密度を得ること、すなわち、輝度が大きい、且つ精細にフォーカスでき(クロスオーバーが小さい)、且つ、装置が小型であるという特長を同時に有する電子銃の開発。
効果 高輝度で解像度が高く、且つ、装置が小型な電界放出型電子銃、および、X線源装置が可能となり、電子顕微鏡、X線装置、オージェ電子分光器等の小型分析装置および電子線描画装置等に有効に活用される。
技術概要
この技術は、電界放出型電子銃において、電子エミッターから電子線を引出し、加速および集束させるためのバトラー型レンズの第1電極が複数分割されており、且つ分割界面が電気的に絶縁されていること、好ましくは、分割界面が空間的に離間されることにより界面が絶縁されているとよい。更には、電子エミッターが、炭素材料で構成されているとする。ここで、炭素材料は、電子を放出する先端部が針状に尖っており、先端径が0.5nm〜500nmのカーボンナノチューブ又はカーボンホイスカ又はカーボンファイバーが代表的なものであり、これら材料が束状になっているものも含んでいる。又、複数分割は2〜20分割を意味するが、実用的には4、6、8または16分割が一般的である。次に、分割電極が各個に高抵抗電気回路を介して接地、又は、引出し電源に電気接続された自己バイアス回路を形成しており、自己バイアス回路によって生ずる電圧降下によって電極電位を制御する電界放出型電子銃の電圧制御方法とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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