III族窒化物結晶の作製装置およびIII族窒化物結晶の作製方法

開放特許情報番号
L2011005112
開放特許情報登録日
2011/9/22
最新更新日
2012/1/6

基本情報

出願番号 特願2005-245580
出願日 2005/8/26
出願人 国立大学法人三重大学
公開番号 特開2007-059772
公開日 2007/3/8
登録番号 特許第4872075号
特許権者 国立大学法人三重大学
発明の名称 III族窒化物結晶の作製装置およびIII族窒化物結晶の作製方法
技術分野 電気・電子、金属材料
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 AlN系III族窒化物結晶の厚膜作製方法、反応生成物、析出、反応容器
目的 HVPE法の反応管として通常使用される石英管を用い、係る石英管の外周から抵抗加熱などにより内部の種結晶を加熱するという態様では、特に1200℃以上の加熱は、石英管の劣化を引き起こし、その使用寿命を維持することが難しいことに鑑み、HVPE法により結晶品質のよいAlN厚膜を形成することができ、かつ長寿命化を図られたAlN系III族窒化物結晶の作製装置の提供。
効果 加熱が必要な種結晶のみを、選択的かつ優先的に加熱することができる。よって、種結晶を載置する第2反応ゾーンにおいては反応管が直接的に加熱されることがないので、例えば反応管として石英管を用い、種結晶を1200℃以上に加熱したとしても、第2反応ゾーンにおいて石英管が1200℃以上の加熱されて破損が生じることがない。従って、結晶品質のよいAlN系III族窒化物結晶の形成と、結晶の作製装置の長寿命化との両立が実現される。
技術概要
この技術は、Al元素を含むIII族窒化物結晶を作製する装置であって、第1の加熱手段によって加熱され、固体Alを含むIII族元素固体と所定の供給源から与えられるハロゲン化水素とを反応させてIII族元素のハロゲン化物を生成させるための第1反応ゾーンと、第1反応ゾーンと空間的に連通してなり、ハロゲン化物と所定の供給源から与えられる窒素元素含有ガスとを気相反応させてIII族窒化物を生成させ、さらにIII族窒化物を所定の種結晶上に析出させるための第2反応ゾーンと、を備え、第1の加熱手段は第1反応ゾーン全体を周囲から加熱する所定の加熱手段であり、第2反応ゾーンは、所定の局所的加熱手段である第2の加熱手段によって種結晶を優先的に加熱するように構成されてなる。また、第2の加熱手段が赤外加熱手段であるとよい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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