赤外線センサ及びその製造方法

開放特許情報番号
L2011005034
開放特許情報登録日
2011/9/16
最新更新日
2011/9/16

基本情報

出願番号 特願2009-045402
出願日 2009/2/27
出願人 学校法人立命館
公開番号 特開2010-197335
公開日 2010/9/9
発明の名称 赤外線センサ及びその製造方法
技術分野 情報・通信、電気・電子、その他
機能 検査・検出、機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 赤外線センサー
目的 この発明は、センサチップを覆うキャップの内側面に、ゲッターを取り付けるための領域を十分に確保する手段を提供する。
効果 この発明の赤外線センサでは、センサチップが基板に直接固定されるとともに、透過部材も基板に直接固定される。このように透過部材の位置決め精度が向上すると、透過部材の縁部にキャップとの接合用に設けるマージンの幅を最小限に抑えることができるので、透過部材の小型化を通じてデバイス全体の小型化及びコストダウンを図ることができる。また、透過部材として特にレンズを使用する場合に、レンズの焦点合わせや光軸合わせに誤差が生じにくいという利点もある。
技術概要
近年、赤外線センサは、小型化、低コスト化、及びアレイ化等を目的として、高感度化が図られている。ここで、熱型の赤外線センサを高感度化する手段としては、赤外線検出器が設けられたセンサチップを真空封止する方法が提唱されており、これによって大気を介した熱伝導を抑制することができ、赤外線検出器からの熱放散が低減され、赤外線吸収層の温度変化が増大することにより赤外線センサの感度を向上させることができる。しかし、従来の赤外線センサには、透過部材のセンサチップに対する位置決め精度が悪いという問題があった。この発明の赤外線センサは、窓部2が形成された半導体基板3と、窓部2を塞ぐようにして半導体基板3に取り付けられ、赤外線を透過するレンズ5と、赤外線を検出可能な検出面12を窓部2の側に向けるようにして、電気的に接続した状態で半導体基板3に取り付けられたセンサチップ7と、このセンサチップ7を覆うキャップ8と、この内側面9に設けられ、キャップ8と半導体基板3とレンズ5とによって包囲される空間14の真空度を低下させるガスを吸着して除去するゲッター10と、を備えるものである。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 立命館大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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