角速度センサ

開放特許情報番号
L2011005022
開放特許情報登録日
2011/9/16
最新更新日
2011/9/16

基本情報

出願番号 特願2007-136372
出願日 2007/5/23
出願人 学校法人立命館
公開番号 特開2008-292230
公開日 2008/12/4
発明の名称 角速度センサ
技術分野 情報・通信、その他
機能 検査・検出、その他
適用製品 ガスの流れの変化を検知する流体式角速度センサ。
目的 1枚のセンサ基板上に構成可能であって、組み立て作業等が不要で半導体製造プロセスのみで容易に製造可能な流体式の角速度センサを提供すること。
効果 容易な製造工程で且つ安価なコストで流体式の1軸角速度センサを量産することができる。また、衝撃に強く、耐久性に優れている。センサ全体として小型化を図ることができる。
技術概要
角速度センサは、ガスが流通するガス流路と、ガス流路に設けられて温度変化に応じて抵抗値が変化する複数の温度センサと、各温度センサに生じた抵抗値変化の差を検出することにより、角速度の作用によって生じたガスの流れの変化を検出するブリッジ回路とを備えている。ガス流路に、互いに逆向きにガスを噴射する一対のノズルを設け、一対のノズルからガスの流れ方向下流側に略等しい距離ずつ離間し、且つ、一対のノズルがそれぞれ噴射するガスの流れの中心線から略同じ方向に略同じ距離ずつ離間した位置に、一対の温度センサをそれぞれ設ける。センサ基板は、シリコン等の半導体で所定厚さの板状部材であり、平面視で略矩形に形成されている。このセンサ基板の上面に、所定深さを有する溝状のガス流路を形成する。ガス流路に隣接した位置に、センサ基板の上面から段落ちしてポンプ空間を形成する。ポンプ空間の中央部に薄膜状のダイアフラムが配設し、その左右両端部に設けたガス送出口を介してガス流路に連通する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 立命館大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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