加速度センサ及び加速度センサの製造方法

開放特許情報番号
L2011005006
開放特許情報登録日
2011/9/16
最新更新日
2011/9/16

基本情報

出願番号 特願2006-168391
出願日 2006/6/19
出願人 学校法人立命館
公開番号 特開2007-333665
公開日 2007/12/27
発明の名称 加速度センサ及び加速度センサの製造方法
技術分野 機械・加工、電気・電子、その他
機能 検査・検出、機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 加速度センサ
目的 この発明は、センサ基板に形成された空洞部内に、可撓性を有する支持梁で錘体を揺動可能に支持する加速度センサにおいて、空洞部を小さくしてセンサ基板全体を小さくすることにより、加速度センサを小型化する手段を提供する。
効果 この発明の加速度センサによれば、支持梁の延びる方向が、センサ基板の内側面と平行する方向なので、センサ基板の内側面と錘体との間に支持梁の長さ分だけの距離を確保する必要がない。従って、空洞部を小さくすることができ、センサ基板全体としても小さくすることができるので、加速度センサの小型化を図ることができる。
技術概要
物体に加わる加速度の大きさを検出するための加速度センサとしては、可撓性を有する支持梁で錘体を揺動可能に支持し、支持梁に生じた歪量を検出することで加わった加速度の大きさを測定するものが従来用いられている。この加速度センサの一つとして、加速度をピエゾ抵抗素子の抵抗値変化として計測するものがある。しかし、従来の加速度センサでは、空洞部を設け、その中心部の支持梁に接合された検知部の伸びを計測する構造のため、全体として大型化するという問題があった。この発明の加速度センサは、空洞部が形成されたセンサ基板と、そのセンサ基板から突設されて空洞部内に錘体を支持する可撓性のある支持梁とを備え、支持梁に生じた歪量に基づいて錘体に加わった加速度を検出する加速度センサにおいて、支持梁が、空洞部内にセンサ基板の内側面と平行して延びるように設けられたことを特徴とするものである。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 立命館大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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