静電気量計測装置

開放特許情報番号
L2011004969
開放特許情報登録日
2011/9/9
最新更新日
2015/12/4

基本情報

出願番号 特願2011-136195
出願日 2011/6/20
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2013-003039
公開日 2013/1/7
発明の名称 静電気量計測装置、静電気量計測方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 半導体、電子機器、精密機械、輸送機械、化学品、食品、静電気量計測装置
目的 計測の難しい状況にある製造現場に最適であって、簡便かつ高精度で電子部品・機械部品などの静電気量を計測する静電気量計測装置および静電気量計測方法を提供する。
効果 電子部品や機械部品との距離、角度などを限定しつつ近接させたり当接させたりすること無く、電子部品などの静電気量を計測できる。このため、計測対象となる電子部品・機械部品の周囲の装置や器具などの影響が少なく、多くの対象物の静電気量を計測できる。
静電気を帯電している物体ごと振動させることによって発生する仮想電磁波で静電気量を計測できるので、計測精度が非常に高い。特に、仮想電磁波を生じさせる振動付与手段と、電磁波の計測手段とを、分離して装置を構成できるので、製造現場の物理的制約に対応しやすくなる。
技術概要
本発明の静電気量計測装置1は、計測対象物10に与えられた振動によって生じる仮想電磁波を受信する受信部2と、受信部2が受信した仮想電磁波の強度、周波数および位相の少なくとも一つを測定する測定部3と、測定部3の測定結果に基づいて、計測対象物10の静電気量を算出する算出部4と、を備える。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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