マイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法

開放特許情報番号
L2011004900
開放特許情報登録日
2011/9/9
最新更新日
2015/11/9

基本情報

出願番号 特願平10-241934
出願日 1998/8/27
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2000-074819
公開日 2000/3/14
登録番号 特許第3586112号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 マイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法
技術分野 機械・加工
機能 検査・検出
適用製品 マイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定システム
目的 薄膜の基板に対する付着強度を測定するマイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法を提供する。
効果 (1)厚さ1μm以下の膜の薄膜8付着強度を評価できる。(2)付着損傷を高感度かつより客観的に検出できる。(3)光学用薄膜8、記録媒質薄膜8、IC配線薄膜8、保護膜など膜の薄膜8付着強度を評価できる。(4)有機膜を含む、多層膜構造を表面から順番に削り取りながら、各層の力学特性を評価できる。
技術概要
マイクロスクラッチ試験機を使用して薄膜付着強度測定を行う方法において、マイクロスクラッチ試験機の圧子針1から生じる電気信号をフーリエ分解し、分解した信号の中から基本周波数の偶数次の高調波を検出し、基板7上の薄膜8の損傷を反映する周波数成分を積分することで、薄膜の臨界損傷荷重を測定するマイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法である。カンチレバーの先端に固定した球状圧子針1、圧子針1を支持するカンチレバー2、圧子カートリッジ本体3、カンチレバー2とカートリッジ本体3との間に設けた粘弾性材料支点4、カンチレバー2の動きを検知する永久磁石5、センサーコイル6、基板7、薄膜8である。圧子針1は図示のように弾性的なカンチレバー(片持ち梁)2の先端についておりカンチレバー2の支点を含むカートリッジ本体3が試料表面に平行に強制振動(f=30.0Hz)できるように構成している。カンチレバー2の圧子針1は薄膜8との摩擦力がなければ支点の運動に完全に追従するが、圧子針1と薄膜8との間に働く摩擦力のために、圧子針1の運動は支点の運動より遅れる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

登録者名称 国立研究開発法人科学技術振興機構

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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