高周波電力供給装置およびプラズマ発生装置

開放特許情報番号
L2011004814
開放特許情報登録日
2011/9/9
最新更新日
2015/11/9

基本情報

出願番号 特願2009-298645
出願日 2009/12/28
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2010-157511
公開日 2010/7/15
登録番号 特許第4852140号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 高周波電力供給装置およびプラズマ発生装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 薄膜形成処理、プラズマイオン注入法における長尺部材のイオン注入処理に有用な高周波電力供給装置に適用する。
目的 高周波電源、複数アンテナ等を特定に構成してなる高周波電力供給装置を提供する。
効果 各アンテナに発生する高周波電圧のバラツキを低減できて、プラズマ発生部の大口径化、大容積化を図っても均一なプラズマを発生できる高周波電力供給装置が得られる。
技術概要
例えば、複数本のアンテナ1と、各アンテナ1に高周波電力を供給するための高周波発振制御器(電力制御部、プラズマ制御部)2、及び増幅器4と、高周波電力のための高周波信号を各アンテナ1に供給するための、高周波信号伝送用の分布定数線路3と、増幅器4とアンテナ1との間にインピーダンス整合用受動回路及び配線が設けられ、各アンテナ1での定在波の発生を回避するために受動回路の出力点から対応するアンテナ1の任意の点までの長さが、高周波電力が各配線及び各アンテナ1を波として伝搬する際の高周波電力の波長の1/4未満である高周波電力供給装置にする。これにより、2以上の多数のアンテナ1を設けても、それらアンテナ1に供給される高周波電力により発生する電圧を均一化できて、各アンテナ1の誘導結合によるプラズマ発生を安定化できる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT