金属プローブ、その金属プローブの形成方法及びその形成装置

開放特許情報番号
L2011004765
開放特許情報登録日
2011/9/9
最新更新日
2018/1/23

基本情報

出願番号 特願2008-546897
出願日 2007/8/24
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号 WO2008/065790
公開日 2008/6/5
登録番号 特許第4837747号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 金属プローブ、その金属プローブの形成方法及びその形成装置
技術分野 金属材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 簡便な操作で得られ、超高集積LSI用テスター、電界放射素子等の分野で広く利用される。
目的 金属プローブ本体の先端部が炭素含有の金属からなり、尖鋭化された金属プローブ、その金属プローブの形成方法及びその形成装置を提供する。
効果 様々な材料の先端を10nm以下の曲率半径に容易に尖鋭化することを可能にする。
技術概要
金属プローブ本体2の先端部が炭素含有のタングステン(W)、ハフニウム(Hf)、ロジウム(Rh)等の少なくとも一つを含む、金属プローブ9である。尚、金属プローブにおいて、金属プローブ本体の先端部の曲率半径が10nm以下であり、金属プローブ先端部が、炭素含有のアモルファス相からなる。また、(a)カーボンナノチューブ1の後端部と金属プローブ本体の先端部を接触させ、(b)接触箇所に電子ビームを局所照射し、接触箇所にカーボンの分解生成物(コンタミネーション)を堆積してカーボンナノチューブと金属プローブ本体とを接合し、カーボンナノチューブ付きプローブを作製し、(c)カーボンナノチューブの先端部とカーボンナノチューブの先端部に対向して配置される対向電極4との間に電位を与え、金属プローブ本体の先端部を溶融し、(d)金属プローブ本体の先端部を引き延ばし、カーボンナノチューブを金属プローブ本体から引き離し、(e)引き離しにより金属プローブ本体の先端部に曲率半径が10nm以下の先端部を形成することにより、金属プローブを形成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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