微細ピッチの受光素子アレイ

開放特許情報番号
L2011004725
開放特許情報登録日
2011/9/9
最新更新日
2011/9/9

基本情報

出願番号 特願平11-223297
出願日 1999/8/6
出願人 株式会社ミツトヨ
公開番号 特開2001-050778
公開日 2001/2/23
登録番号 特許第4350220号
特許権者 株式会社ミツトヨ
発明の名称 変位測定装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 光学式リニアエンコーダ、光学式ロータリーエンコーダ
目的 光電式エンコーダ用の微細ピッチの受光素子アレイにおいて、余裕のあるライン/スペースの加工で実現して、歩留まり及び信頼性向上させる。
効果 余裕のあるライン/スペースの加工で実質的に微細な配列ピッチを持つ受光素子アレイを実現して、光電式エンコーダの歩留まり及び信頼性向上を図ることができる。また、送信部配列を微細ピッチにしてエンコーダを高分解能化することもできる。
技術概要
受光素子アレイは、基板と、この基板上に形成された第1層半導体薄膜により形成された第1の受光素子群と、この第1の受光素子群を覆う絶縁膜と、この絶縁膜上に形成された第2層半導体薄膜により形成されて第1の受光素子群のスペースの透過光を受光する第2の受光素子群とを有する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】
実施権条件 <1>競合他社(製品)へのライセンスは原則行いません。 <2>技術指導は原則行いません。
希望譲渡先(国内) 【可】非競合他社(製品)
希望譲渡先(国外) 【可】非競合他社(製品)

登録者情報

登録者名称 株式会社ミツトヨ

その他の情報

海外登録国 イギリス
関連特許
国内 【無】
国外 【有】  ドイツ、イギリス
Copyright © 2018 INPIT