光干渉式測定機能付き加工装置

開放特許情報番号
L2011004722
開放特許情報登録日
2011/9/9
最新更新日
2011/9/9

基本情報

出願番号 特願平10-108657
出願日 1998/4/3
出願人 株式会社ミツトヨ
公開番号 特開平11-287629
公開日 1999/10/19
登録番号 特許第3853972号
特許権者 株式会社ミツトヨ
発明の名称 光干渉式測定装置およびその測定装置を備えた測定機能付き加工装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 加工装置
目的 加工中に被加工物の表面形状を精密測定することができる干渉式測定装置であって、十分に広い範囲で連続する干渉縞を得られる測定装置、および、この測定装置を備えた加工装置を提供する。
効果 加工中に平面度などの表面形状の測定ができるので、信頼度が高く確実な加工が可能となる。さらに、加工装置の加工条件に測定結果を帰還して、加工条件の自動調整を行うことも可能となる。
技術概要
ワークが加工機構ベース上に載置され、ワークの上に載せられたラップ盤が回転駆動される。ワークの上方には、ラップ盤を挟んで干渉計が設けられている。干渉計は、それぞれ測定窓の位置が異なるときの複数の干渉縞画像を取得する。各干渉縞画像には、測定窓の部分の縞画像とラップ盤に遮られた部分の影画像とが含まれている。影画像の光学的強度の基準値に基づいて、干渉縞画像から影画像を排除し、測定窓部分の縞画像を合成して、干渉縞が広い範囲で連続する合成干渉縞画像を生成する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】
実施権条件 <1>競合他社(製品)へのライセンスは原則行いません。 <2>技術指導は原則行いません。
希望譲渡先(国内) 【可】非競合他社(製品)
希望譲渡先(国外) 【可】非競合他社(製品)

登録者情報

登録者名称 株式会社ミツトヨ

その他の情報

海外登録国 アメリカ合衆国
その他の提供特許
登録番号1 3853966
登録番号2 4056617
関連特許
国内 【有】
国外 【有】  アメリカ合衆国
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