| 出願番号 |
特願2004-247363 |
| 出願日 |
2004/8/26 |
| 出願人 |
国立大学法人広島大学 |
| 公開番号 |
特開2006-063390 |
| 公開日 |
2006/3/9 |
| 登録番号 |
特許第4423419号 |
| 特許権者 |
国立大学法人広島大学 |
| 発明の名称 |
時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法、その製造方法によって得られる微小突起物、その微小突起物を備える触媒用担体および接触搬送装置 |
| 技術分野 |
機械・加工、金属材料 |
| 機能 |
材料・素材の製造、表面処理 |
| 適用製品 |
耐磨耗性に優れた搬送ローラ、マイクロマシン用歯車などの精密機械部品、表面積の大きな金属材料の触媒用担体 |
| 目的 |
時効性金属材料を固溶化熱処理し、溶解した析出成分を析出させないように冷却しながら、表面近傍を析出成分を含む化合物の析出温度域にし、エッチング速度を制御してスパッタエッチングし、その面上に析出成分を含む化合物の微小突起物を形成させる。 |
| 効果 |
炭化物又は金属間化合物を析出成分として高硬度高耐摩耗性の微小突起物とさせるので、材料表面を硬質化させる事が出来る。 |
技術概要
 |
（Ａ）時効性金属材料を固溶化熱処理し、（Ｂ）析出成分を素地中に溶解させ、成分Ｂを含む化合物を素地中に析出させないように成分Ａを冷却しながらその表面をスパッタエッチングして、エッチング面上に析出成分を含む化合物の微小突起物を形成させる。成分Ａは鋼（例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ４３０、ＳＫＤ５、ＳＣＭ４３５）、チタン合金、銅合金などで、成分Ｂは炭化物（例えば、ＴｉＣ）、窒化物、Ｎｉ−Ａｌ金属間化合物などが好ましい。スパッタエッチングは、エッチングする成分Ａの表面近傍の温度を成分Ｂを含む化合物の析出温度域になるようにさせて、その速度を成分Ｂを含む化合物の深さ方向の成長速度以下とさせて成分Ａの表面に微小突起物を形成させる。突起物の形成は、成分Ａの冷却温度、スパッタエッチング時間とエッチングの出力などでその大きさ、形状、分布密度などを制御し、表面に形成された微小突起物の形状を円錐形とさせ、次いでこの突起物よりも硬い硬質体と突起物の先端を衝突させて、突起の先端部分を平坦にさせるのが好ましい。 |
| 実施実績 |
【試作】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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