測定プローブ、試料表面測定装置、及び試料表面測定方法

開放特許情報番号
L2011004512
開放特許情報登録日
2011/9/2
最新更新日
2015/11/9

基本情報

出願番号 特願2007-536526
出願日 2007/2/14
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号 WO2007/094365
公開日 2007/8/23
登録番号 特許第4546535号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 測定プローブ、試料表面測定装置、及び試料表面測定方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 試料の表面を測定するために用いられる測定プローブ
目的 特殊な測定系を用いることなく試料表面の測定精度を向上することが可能な測定プローブ、測定プローブを用いた試料表面測定装置、及び試料表面測定方法の提供。
効果 本技術の測定プローブ、試料表面測定装置、及び試料表面測定方法によれば、垂直軸の方向に変形可能な第1ばね構造部、及び水平軸の方向に変形可能な第2ばね構造部によって構成された支持構造部を用いるとともに、支持構造部の端部に設けられるヘッド部に反射面を設け、反射面内において、その反射率が所定パターンで変化する構成とすることにより、特殊な測定系を用いることなく試料表面の測定精度を向上することが可能となる。
技術概要
本技術による測定プローブは、試料の表面を測定するために用いられる測定プローブであって、(1)ベース部と、(2)表面測定用の探針が設けられたヘッド部と、(3)探針が突出する探針軸に略直交する第1軸を支持軸としてベース部に対してヘッド部を支持する支持構造部とを備え、(4)支持構造部は、探針軸の方向について変形可能に構成された第1ばね構造部と、探針軸及び第1軸に略直交する第2軸の方向について変形可能に構成された第2ばね構造部との2つのばね構造部によって構成され、(5)ヘッド部は、探針とは反対側に設けられ、その反射率が面内で異なるように変化する反射パターンで形成された反射面を有することを特徴とする。このように、垂直力測定及び水平力測定に用いられる2つのばね構造部を設ける構成によれば、2方向の変形が干渉することが防止され、試料表面の測定精度を向上することができる。なお、ここでは、ばね構造部とは弾性的に変形する構造部分をいい、例えば板ばね、捩りばね等を含む。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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