ホモダインレーザ干渉計プローブ及びそれを用いた変位計測システム

開放特許情報番号
L2011004485
開放特許情報登録日
2011/9/2
最新更新日
2018/1/5

基本情報

出願番号 特願2007-505995
出願日 2006/3/2
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号 WO2006/093210
公開日 2006/9/8
登録番号 特許第4489804号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 ホモダインレーザ干渉計プローブ及びそれを用いた変位計測システム
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 反射ミラーからの基準光、同一の経路、焦点レンズからの計測光を測定対象物に照射
目的 構造が簡単で、安価で、かつ簡便な調整で容易に所定の性能が得られるホモダインレーザ干渉計プローブ及びそれを用いた変位計測システムの提供。
効果 簡便な構成で、高い基準光量を用いたホモダインレーザ干渉計測が可能になるとともに、基準光側にも焦点レンズを入れることによって光プローブや測定対象の角度や設置位置の若干の変化に対しても良好な干渉信号を得ることができる。また、構造が簡単で、安価なホモダインレーザ干渉計プローブを用いた変位計測システムを提供することができる。
技術概要
本技術のホモダインレーザ干渉計プローブは次の通り構成されている。光プローブから計測光・基準光が導入されるとともに、計測光・基準光が光ファイバーで導出され、光ファイバーからの計測光・基準光を受けるとともに、計測光・基準光を光ファイバーへコリメートレンズにて導出する。コリメートレンズからの計測光・基準光を受けるとともに、計測光・基準光をコリメートレンズへ1/4波長板へ出射し、基準光を反射して、第1の焦点レンズに出射するとともに、計測光を透過してビームスプリッタにて出射する。第1の焦点レンズからの基準光を受けて反射ミラーで反射し、ビームスプリッタからの透過光である計測光を第2の焦点レンズで受ける。変位測定対象物(例えば、カンチレバー)で反射された計測光(信号光)は、同一の経路を経て、光ファイバーへと戻る。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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