精密高耐荷重移動方法および装置

開放特許情報番号
L2011004391
開放特許情報登録日
2011/9/2
最新更新日
2018/1/5

基本情報

出願番号 特願2006-513734
出願日 2005/5/20
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号 WO2005/114825
公開日 2005/12/1
登録番号 特許第4658040号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 精密高耐荷重移動方法および装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 剪断変形、ピエゾ素子
目的 剪断変形を起こすピエゾ素子を利用し、あるいは、剪断変形を起こすピエゾ素子と縦変形を起こすピエゾ素子とを組み合わせ、鉛直方向下向きへ力を加えた時にも垂直方向へ移動体が的確に移動可能な精密高耐荷重移動方法および装置の提供。
効果 本技術によれば、従来のピエゾ素子を用いた移動機構と比べ、より大きな摺動面に対する面圧が選択できるため、より大きな負荷を移動させることが可能となる。また、それぞれのピエゾ素子に位相の異なる正弦波や矩形波を印加することにより、双方向性の高速移動が可能な超音波モータとしての高速変位も可能となる。
技術概要
この技術では、固定部の床面、固定部の壁面、くさび状移動子、そのくさび状移動子の底面に固定される剪断変形を起こすピエゾ素子、そのくさび状移動子によって駆動され鉛直方向へ移動する移動体であり、この移動体の上面には試料などが載置される。この移動体をバネにより押さえるガイド7(ベアリング)、剪断変形を起こすピエゾ素子に急速変形を生成するための駆動パルス源8である。そこで、剪断変形を起こすピエゾ素子が駆動パルス源からのパルスによって急速変形することにより、くさび状移動子は水平方向(ここでは左方向)に微小移動する。すると、移動体に対してくさび状移動子を打ち込むことになり移動体は上方に移動され(逆に引き抜くことにより、移動体を下方に移動させることもできる)、移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行うことができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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